Система Низложения Слоя TFS 500 Атомная от Beneq

Система Низложения Слоя TFS 500 Атомная от Beneq

TFS 500 система ALD конструированная для пользы в применениях покрытия тонкого фильма. Блок включает конструкцию ведущей кромки и технические разрешения которая включают покрытия и результаты главного качества. В Beneq, мы причаливали конструкции инструмента ALD с восприимчивостью и новаторским духом. Наша цель начать новые применения и возможности для бизнеса путем совмещать опыт с вымыслом. TFS 500, наша начальная модель реактора, доказывало свой случай как разносторонний инструмент способный к адаптации как к глубокому исследованию тонкого фильма, так и к робастной пакетной обработке.

TFS 500 может отрегулировать несколько типов субстратов; вафли, плоскостные предметы, порошки и пористые кусковые материалы, так же, как сложное 3D возражают с высокими характеристиками коэффициента сжатия. Его можно более далее оборудовать с замком нагрузки обслуживаемый вручную для увеличенные возмоности обработки вафли. Разные виды камер реакции можно легко приспосабливать внутри камеры вакуума, которая в свою очередь включает оптимизировать каждую камеру реакции для каждого применения клиента. TFS 500 идеально инструмент для окружающих сред multi-проекта.

TFS 500 соотвествует и строгие требования промышленной надежности и потребность для гибкости деятельностей R&D. Оно построен на робастной и модульной структуре и соотвествует все необходимые инженерства и безопасности. Отростчатые компоненты стандартные статьи, таким образом обеспечивающ наличие запасных частей. Все контейнеры прекурсора можно легко изменить, без предупреждения. Готовность к прекурсора включает газы, жидкости и твердые материалы. Для полной гибкости в выборе прекурсора, мы дополнительно включали вариант источника 500 °C горячий. Конфигурация источника клиента может поэтому поменять от минимум 2, до комплекс 5 газов, 4 жидкости и 4 горячих источника.

Характеристики

Представление которое подсчитывает

  • Отростчатое время цикла большей частью чем 2 секунды. В много случаев, меньш чем 1 второе (с изменением единообразия < ±1% для, например, AlO).2 3
  • Горячая многосторонность источника, до 500 настроений источника °C горячих как стандарт варианты.
  • Специфический для приложения проект камеры реакции с главным представлением покрытия.
  • Оба направьте и дистанционная плазма ALD как стандарт варианты.

Рабочая гибкость - модульная и гибкая

Хотите Ли вы приложить тонкий фильм до одна или несколько вафель кремния, или к серии две тысячи серебряных монет, TFS 500 ваш самый лучший выбор. Наша аккредитированная команда ALD может приспособить ваши специфические потребности в конструкции оборудования, деятельности и функциях поддержки.

  • Несколько различных камер реакции доступных для, например, вафля, множественная вафля, 3D и субстраты порошка.
  • Всестороннее модульное проектирование позволяет для легкого изменения камер, источников и трубопровода реакции.
  • Высокое низложение давит возможное для больших субстратов поверхностной области.
  • Замок Нагрузки с ручной операцией доступной для быстрого изменения вафли субстрата.
  • камера реакции Горяч-Стены для равномерной температуры субстрата и предотвратить конденсацию прекурсора и вторичные реакции.
  • камера вакуума Холодн-Стены для быстрых топления и охлаждать.
  • Вспомогательный вход переносит в камеру вакуума для плазмы, в-situ диагностиках Etc.
  • Чистая Комната совместимая, включая агрегат стены чистой комнаты.

Уникально конструкция - легкий в использовании

TFS 500 включает малый след ноги и дружественную конструкцию. Все деятельности покрытия и управления производственным процессом удобно расположены над талией, делая TFS 500 удовольствие работать с. Нагрузка источника Прекурсора и изменять просты, быстро и надежно. Все функции управляются programmable управлением логики (PLC), включая интерфейс Пользователь ПК и регистрацию данных.

Last Update: 11. January 2012 04:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier