Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Система Низложения Слоя TFS 500 Атомная от Beneq

TFS 500 система ALD конструированная для пользы в применениях покрытия тонкого фильма. Блок включает конструкцию ведущей кромки и технические разрешения которая включают покрытия и результаты главного качества. В Beneq, мы причаливали конструкции инструмента ALD с восприимчивостью и новаторским духом. Наша цель начать новые применения и возможности для бизнеса путем совмещать опыт с вымыслом. TFS 500, наша начальная модель реактора, доказывало свой случай как разносторонний инструмент способный к адаптации как к глубокому исследованию тонкого фильма, так и к робастной пакетной обработке.

TFS 500 может отрегулировать несколько типов субстратов; вафли, плоскостные предметы, порошки и пористые кусковые материалы, так же, как сложное 3D возражают с высокими характеристиками коэффициента сжатия. Его можно более далее оборудовать с замком нагрузки обслуживаемый вручную для увеличенные возмоности обработки вафли. Разные виды камер реакции можно легко приспосабливать внутри камеры вакуума, которая в свою очередь включает оптимизировать каждую камеру реакции для каждого применения клиента. TFS 500 идеально инструмент для окружающих сред multi-проекта.

TFS 500 соотвествует и строгие требования промышленной надежности и потребность для гибкости деятельностей R&D. Оно построен на робастной и модульной структуре и соотвествует все необходимые инженерства и безопасности. Отростчатые компоненты стандартные статьи, таким образом обеспечивающ наличие запасных частей. Все контейнеры прекурсора можно легко изменить, без предупреждения. Готовность к прекурсора включает газы, жидкости и твердые материалы. Для полной гибкости в выборе прекурсора, мы дополнительно включали вариант источника 500 °C горячий. Конфигурация источника клиента может поэтому поменять от минимум 2, до комплекс 5 газов, 4 жидкости и 4 горячих источника.

Характеристики

Представление которое подсчитывает

  • Отростчатое время цикла большей частью чем 2 секунды. В много случаев, меньш чем 1 второе (с изменением единообразия < ±1% для, например, AlO).2 3
  • Горячая многосторонность источника, до 500 настроений источника °C горячих как стандарт варианты.
  • Специфический для приложения проект камеры реакции с главным представлением покрытия.
  • Оба направьте и дистанционная плазма ALD как стандарт варианты.

Рабочая гибкость - модульная и гибкая

Хотите Ли вы приложить тонкий фильм до одна или несколько вафель кремния, или к серии две тысячи серебряных монет, TFS 500 ваш самый лучший выбор. Наша аккредитированная команда ALD может приспособить ваши специфические потребности в конструкции оборудования, деятельности и функциях поддержки.

  • Несколько различных камер реакции доступных для, например, вафля, множественная вафля, 3D и субстраты порошка.
  • Всестороннее модульное проектирование позволяет для легкого изменения камер, источников и трубопровода реакции.
  • Высокое низложение давит возможное для больших субстратов поверхностной области.
  • Замок Нагрузки с ручной операцией доступной для быстрого изменения вафли субстрата.
  • камера реакции Горяч-Стены для равномерной температуры субстрата и предотвратить конденсацию прекурсора и вторичные реакции.
  • камера вакуума Холодн-Стены для быстрых топления и охлаждать.
  • Вспомогательный вход переносит в камеру вакуума для плазмы, в-situ диагностиках Etc.
  • Чистая Комната совместимая, включая агрегат стены чистой комнаты.

Уникально конструкция - легкий в использовании

TFS 500 включает малый след ноги и дружественную конструкцию. Все деятельности покрытия и управления производственным процессом удобно расположены над талией, делая TFS 500 удовольствие работать с. Нагрузка источника Прекурсора и изменять просты, быстро и надежно. Все функции управляются programmable управлением логики (PLC), включая интерфейс Пользователь ПК и регистрацию данных.

Last Update: 11. January 2012 04:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment