Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

P400A og P800 Atomic Layer Deposition System fra Beneq

Den Beneq P400A og P800 er ALD systemer designet til industriel skala produktion. De er ideelle værktøjer for opskalering tynd film deposition fra F & U-fase for fuld størrelse industriel produktion. Systemerne er pålidelige, industrielt bevist og moden i form af tekniske forskel. Designet er baseret på 25 års uafbrudt (24 / 7) drift i krævende industrielle applikationer.

De fleste af vores kunder i industrien kræver et dedikeret udstyr og proces opsætninger. Beneq har flere in-house P400A og P800 systemer til at tage højde for et bredt spektrum af belægningen behov i applikationsudvikling og tyndfilm F & U. På denne måde kan kunderne søger produktionsudstyr verificere den tekniske og økonomiske resultater af processen og udstyr, før de foretager en investering. Derudover tilbyder vi mulighed for at lave volumen produktion indtil vores kundens egen fabrikation er sat op.

Hoved-og nøgletal:

  • Øjeblikkelig skala op til produktionen efter F & U-fase.
  • Omfattende logning for gentagelig produktionskontrol.
  • UPS understøttede funktioner.
  • Lav behov for vedligeholdelse.
  • Unik mini-miljø, design for fleksibilitet i læsning, parti-og substrat størrelse samt forurening kontrol.
  • Mini-miljø og proprietære filtrering design adskilt rengøringsarbejde fra P400A systemets base. Ingen nedetid på grund af rengøring.
  • Omkostningseffektiv hot-væg og høj kapacitet batch-system.
  • Unik termisk stabil blok med patenteret hurtige indbygget dosering ventiler og integreret flow-kanaler.
  • Vakuum pumpesystem med flerfasede, proprietære høj kapacitet forløber de-aktivering og filtreringssystem til at gøre det muligt for store mængder batchbehandling.
  • Overophedning forhindres ved yderligere PLC med dedikeret termoelementer, bortset fra normal opvarmning loop, for øget produktion sikkerhed.
  • Industri-dokumenteret høj gentagelsesnøjagtighed og pålidelighed i produktion, baseret på 30 års udvikling.

Last Update: 10. October 2011 12:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment