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AtomAbsetzungs-Anlage der schicht-P400A und P800 von Beneq

Das Beneq P400A und P800 sind ALD-Anlagen, die für Produktion auf industrieller Ebene bestimmt sind. Sie sind ideale Hilfsmittel für Skalierung-oben Dünnfilmabsetzung von R&D-Phase zur industriellen Größengleichindustrieproduktion. Die Anlagen sind zuverlässig, industriell geprüft und reifen im Hinblick auf technische Unterscheidung. Die Auslegung basiert auf 25 Jahren von kontinuierlichem (24/7) Operation, wenn industrielle Anwendungen verlangt werden.

Die Meisten unserer Industrieabnehmer fordern engagierte Geräten- und Prozessinstallationen. Beneq hat einige interne P400A und die Anlagen P800, zum einer großen Auswahl der Beschichtung zu versorgen braucht in der Anwendungsentwicklung und in Dünnfilm R&D. Auf diese Weise, die Abnehmer, die nach Produktionsgerät suchen, vor der Herstellung einer Investition kann die technische und Finanzleistung des Prozesses und des Geräts, überprüfen. Darüber hinaus bieten wir die Möglichkeit der Kleinserie bis die eigene Fälschung unseres Abnehmers sind montiert worden an.

Leistungshöhepunkte:

  • Unmittelbare Schuppe bis zur Produktion nach R&D-Phase.
  • Umfangreiches Protokollieren zur wiederholbaren Fertigungssteuerung.
  • UPS unterstützte Funktionen.
  • Niedriger Bedarf an der Pflege.
  • Eindeutige Miniumgebung Auslegung für Flexibilität im Laden, Stapel und Substratflächengröße sowie -Verunreinigungskontrolle.
  • Mini-Umgebung und eigene Entstörungsunterschiedliche Reinigung der auslegung arbeiten von der P400A-Anlagenbasis. Keine Ausfallzeit passend zum Säubern.
  • Wirtschaftliche Heißwand und Hochleistungs Stapelsystem.
  • Eindeutiger thermisch stabiler Quellblock mit patentiertem Rapid bettete Dosierventile ein und integrierte Flusskanäle.
  • Staub saugen Sie Pumpsystem mit Mehrphasen-, eigener Hochleistungsvorläuferabschaltung und Filtrationsanlage, um die Großserienstapelverarbeitung zu aktivieren.
  • Überhitzung verhindert durch zusätzlichen PLC mit engagierten Thermoelementen, abgesehen von normalem Heizungsregelkreis, zu erhöhter Produktionssicherheit.
  • Industrie-Erwiesene hohe Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit in der Produktion, basiert auf 30 Jahren Entwicklung.

Last Update: 11. January 2012 06:18

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