P400A y P800 Sistema Atómica de deposición de capas de Beneq

El Beneq P400A y P800 son los sistemas ALD diseñado para producción a escala industrial. Son las herramientas ideales para ampliación de deposición de película delgada de I + D fase de tamaño completo de la producción industrial. Los sistemas son confiables, probados industrialmente y maduro en términos de distinción técnica. El diseño se basa en 25 años de continuo (24 / 7) la operación en aplicaciones industriales más exigentes.

La mayoría de nuestros clientes industriales requieren un equipo dedicado y configuraciones de proceso. Beneq tiene varios en casa P400A y P800 sistemas para satisfacer una amplia gama de necesidades de revestimiento en el desarrollo de aplicaciones y de película delgada de I + D. De esta manera, los clientes que buscan equipos de producción se puede verificar el rendimiento técnico y financiero de los procesos y equipos, antes de hacer una inversión. Además, ofrecemos la posibilidad de producción de bajo volumen hasta la fabricación propia de nuestros clientes se ha creado.

Aspectos destacados del rendimiento:

  • Aumento inmediato de producción hasta después de la I + D de fase.
  • Un amplio registro de control de la producción repetible.
  • UPS apoya funciones.
  • Baja necesidad de mantenimiento.
  • Única mini-entorno de diseño para la flexibilidad en el tamaño de la carga, lote y el sustrato, así como el control de la contaminación.
  • Mini-medio ambiente y el trabajo de filtrado patentado diseño separado de limpieza de la base del sistema P400A. No hay tiempo de inactividad debido a la limpieza.
  • Costo-eficiente en caliente de la pared y de alta capacidad del sistema de proceso por lotes.
  • Única fuente de estabilidad térmica de bloque con válvulas patentada rápida administración integrados y canales integrados de flujo.
  • Vacío con sistema de bombeo multifásico, de propiedad de alta capacidad precursor de la activación y el sistema de filtración para permitir que grandes volúmenes de procesamiento por lotes.
  • Sobrecalentamiento impedido por otros PLC con termopares dedicada, además de bucle de calefacción normal, para la seguridad de aumento de la producción.
  • Probado en la industria de alta repetibilidad y confiabilidad en la producción, sobre la base de 30 años de desarrollo.

Last Update: 10. October 2011 12:39

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