P400A et P800 Système atomique Layer Deposition du Beneq

Le Beneq P400A et P800 sont des systèmes conçus pour les ALD production à échelle industrielle. Ils sont des outils idéaux pour l'augmentation de dépôt de couches minces de R & D à la phase pleine grandeur de la production industrielle. Les systèmes sont fiables, industriellement éprouvée et mature en termes de distinction technique. La conception est basée sur 25 années de service continu (24 / 7) opération dans les applications industrielles exigeantes.

La plupart de nos clients industriels nécessitent des équipements dédiés et des configurations processus. Beneq a plusieurs en interne P400A et P800 systèmes pour répondre à un large éventail de besoins de revêtement en développement d'applications et de couches minces de R & D. De cette façon, les clients qui recherchent des équipements de production peuvent vérifier les performances techniques et financiers du processus et de l'équipement, avant de faire un placement. En outre, nous offrons la possibilité de production à faible volume jusqu'en propre fabrication de nos clients a été mis en place.

Aperçu du rendement pour:

  • Un renforcement immédiat de la production, après la phase de RD.
  • Journalisation étendue pour contrôler la production reproductible.
  • UPS pris en charge les fonctions.
  • Faible besoin de maintenance.
  • Unique mini-environnement de conception pour la flexibilité dans la taille de chargement, le lot et le substrat ainsi que le contrôle de contamination.
  • Mini-environnement et travail de filtrage de nettoyage exclusif de conception distincte de la base du système P400A. Aucun temps d'arrêt dus au nettoyage.
  • Coût-efficacité à chaud mur et système de lots de grande capacité.
  • Unique bloc source thermiquement stable avec brevetée rapidement les vannes de dosage embarqué et des canaux d'écoulement intégré.
  • Pompage à vide du système avec les polyphasique, propriétaires de haute capacité précurseur de la désactivation et système de filtration afin de permettre le traitement par lots à haut volume.
  • Plus de chauffage empêché par d'autres API avec thermocouples dédié, en dehors de la boucle de chauffage normal, pour une sécurité accrue de production.
  • Éprouvée par l'industrie de haute répétabilité et de fiabilité dans la production, basé sur 30 années de développement.

Last Update: 10. October 2011 12:39

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