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Sistema Atomico di Deposito del Livello P400A e P800 da Beneq

Il Beneq P400A e P800 è sistemi di ALD progettati per produzione su scala industriale. Sono strumenti ideali per il deposito della pellicola sottile di operazione di disgaggio-su a partire dalla fase di R & S a produzione industriale 100%. I sistemi sono credibili, risultato su scala industriale e maturano in termini di distinzione tecnica. La progettazione è basata su 25 anni di continuo (24/7) operazione nelle applicazioni industriali esigenti.

La Maggior Parte dei nostri clienti industriali richiedono le attrezzature dedicate e le impostazioni trattate. Beneq ha parecchi P400A interni ed i sistemi P800 per provvedere a una vasta gamma di rivestimento ha bisogno di in via di sviluppo lo sviluppo di applicazioni e la R & S della pellicola sottile. Questo modo, clienti che cercano l'attrezzatura di produzione può verificare la prestazione tecnica e finanziaria del trattamento e della strumentazione, prima della fabbricazione dell'investimento. Inoltre, offriamo la possibilità di produzione a basso volume fino al proprio montaggio del nostro cliente siamo stati installati.

Punti culminanti di Prestazione:

  • Disgaggio Immediato fino a produzione dopo la fase di R & S.
  • Estesa registrazione per il controllo della produzione ripetibile.
  • UPS ha supportato le funzioni.
  • Esigenza Bassa di manutenzione.
  • Progettazione Unica dell'mini-ambiente per flessibilità nel caricamento, batch e dimensione come pure controllo della contaminazione del substrato.
  • l'Mini-Ambiente e la pulizia separata di filtrazione privata di progettazione funzionano dalla base del sistema di P400A. Nessun'inattività dovuto pulire.
  • piccante-parete Costo-Efficiente e sistema di grande capacità in lotti.
  • Il blocchetto stabile Unico di sorgente con rapida brevettata ha incluso termicamente il dosaggio delle valvole ed ha integrato i canali di flusso.
  • Vacuum il sistema di pompaggio con la disattivazione del precursore ed il sistema di grande capacità multifasi e privati di filtrazione per permettere all'elaborazione batch in grande quantità.
  • Surriscaldamento impedito dallo SPA supplementare con le termocoppie dedicate, oltre al ciclo normale del riscaldamento, per sicurezza aumentata di produzione.
  • alte ripetibilità ed affidabilità Industria-Provate nella produzione, in base a 30 anni di sviluppo.

Last Update: 11. January 2012 06:20

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