P400A および P800 Beneq からの原子層の沈殿システム

Beneq P400A および P800 は産業スケールの生産のために設計されている ALD システムです。 それらは R & D 段階からの大型の工業生産へスケーリングの薄膜の沈殿のための理想的なツールです。 システムは信頼でき、産業的に証明されて技術的な区別の点では成熟します。 デザインは 25 年間の連続的に基づいています (24/7) 産業アプリケーションの要求の操作。

私達の産業顧客のほとんどは専用装置およびプロセスセットアップを必要とします。 Beneq に複数の社内 P400A があり、コーティングの広い範囲を考慮に入れる P800 システムはアプリケーション開発および薄膜 R & D で必要とします。 こうすれば、生産設備を捜している投資前に顧客はプロセスおよび装置の技術的で、財政パフォーマンスを、確認できます。 さらに、私達は私達の顧客の自身の製造までの少量の生産の可能性をセットアップされました提供します。

パフォーマンスハイライト:

  • R & D 段階後の生産までの即時のスケール。
  • 反復可能な生産管理のための広範な記録。
  • UPS は機能をサポートしました。
  • 維持のための低い必要性。
  • ローディングの柔軟性のための一義的なミニ環境デザイン、バッチおよび基板のサイズ、またコンタミネーション・コントロール。
  • ミニ環境および専有フィルタに掛けるデザイン別のクリーニングは P400A システムベースから働きます。 クリーニングによる補充所要時間無し。
  • コスト効率が高い熱壁および大容量バッチシステム。
  • 特許を取られた急流が付いている一義的な熱的に安定したソースブロックは弁に投薬することを埋め込み、流路を統合しました。
  • 大量のバッチプロセシングを可能にするために多相の、専有大容量前駆物質の非活動化およびろ過システムが付いているポンプ施設管理に掃除機をかけて下さい。
  • 、高められた生産の安全のための正常な暖房のループから離れて、専用熱電対が付いている追加 PLC によって防がれる過熱すること。
  • 30 年間の開発に基づいて生産の工業証明された高い反復性そして信頼性。

Last Update: 11. January 2012 06:21

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