P400A en P800 Atomic Layer Deposition Systeem van Beneq

P400A en P800 Atomic Layer Deposition Systeem van Beneq

De Beneq P400A en de P800 zijn ALD-systemen ontworpen voor productie op industriële schaal. Ze zijn ideaal gereedschap voor opschaling dunne laag depositie van R & D-fase voor de volledige weergave industriële productie. De systemen zijn betrouwbaar, industrieel bewezen en vervallen in termen van technische onderscheid. Het ontwerp is gebaseerd op 25 jaar van voortdurende (24 / 7) gebruik in veeleisende industriële toepassingen.

De meeste van onze industriële klanten vereisen speciale apparatuur en opstellingen. Beneq heeft een aantal in-house P400A en P800 -systemen om te voorzien in een breed scala van coating behoeften in applicatie-ontwikkeling en dunne-film R & D. Op deze manier kunnen klanten op zoek naar productie-apparatuur te controleren van de technische en financiële prestaties van het proces en apparatuur, alvorens een beleggingsbeslissing. Daarnaast bieden wij de mogelijkheid van een lage-volume productie tot aan onze klanten is een eigen verzinsel is opgezet.

Prestaties hoogtepunten:

  • Onmiddellijke opschaling van de productie na R & D-fase.
  • Uitgebreide logging voor herhaalbare productiecontrole.
  • UPS ondersteunde functies.
  • Lage behoefte aan onderhoud.
  • Unieke mini-omgeving ontwerp voor flexibiliteit bij het laden, partij-en substraat grootte als bescherming tegen besmetting.
  • Mini-omgeving en eigen ontwerpen filtering gescheiden schoonmaken van werk uit de P400A systeem basis. Geen downtime als gevolg van reiniging.
  • Kostenefficiënte hot-wand-en high-capacity batch systeem.
  • Unieke thermisch stabiele bron blok met gepatenteerde snelle embedded dosering kleppen en geïntegreerde stroom-kanalen.
  • Vacuüm pompsysteem met meerfasige, gepatenteerde high-capacity voorloper de-activering en filtersysteem om high-volume batch-verwerking mogelijk te maken.
  • Oververhitting voorkomen door extra PLC met speciale thermokoppels, afgezien van de normale verwarming lus, voor de verhoging van de productie veiligheid.
  • Industrie-bewezen hoge herhaalbaarheid en betrouwbaarheid in de productie, gebaseerd op 30 jaar van ontwikkeling.

Last Update: 10. October 2011 12:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier