Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

P400A en P800 Atomic Layer Deposition Systeem van Beneq

De Beneq P400A en de P800 zijn ALD-systemen ontworpen voor productie op industriële schaal. Ze zijn ideaal gereedschap voor opschaling dunne laag depositie van R & D-fase voor de volledige weergave industriële productie. De systemen zijn betrouwbaar, industrieel bewezen en vervallen in termen van technische onderscheid. Het ontwerp is gebaseerd op 25 jaar van voortdurende (24 / 7) gebruik in veeleisende industriële toepassingen.

De meeste van onze industriële klanten vereisen speciale apparatuur en opstellingen. Beneq heeft een aantal in-house P400A en P800 -systemen om te voorzien in een breed scala van coating behoeften in applicatie-ontwikkeling en dunne-film R & D. Op deze manier kunnen klanten op zoek naar productie-apparatuur te controleren van de technische en financiële prestaties van het proces en apparatuur, alvorens een beleggingsbeslissing. Daarnaast bieden wij de mogelijkheid van een lage-volume productie tot aan onze klanten is een eigen verzinsel is opgezet.

Prestaties hoogtepunten:

  • Onmiddellijke opschaling van de productie na R & D-fase.
  • Uitgebreide logging voor herhaalbare productiecontrole.
  • UPS ondersteunde functies.
  • Lage behoefte aan onderhoud.
  • Unieke mini-omgeving ontwerp voor flexibiliteit bij het laden, partij-en substraat grootte als bescherming tegen besmetting.
  • Mini-omgeving en eigen ontwerpen filtering gescheiden schoonmaken van werk uit de P400A systeem basis. Geen downtime als gevolg van reiniging.
  • Kostenefficiënte hot-wand-en high-capacity batch systeem.
  • Unieke thermisch stabiele bron blok met gepatenteerde snelle embedded dosering kleppen en geïntegreerde stroom-kanalen.
  • Vacuüm pompsysteem met meerfasige, gepatenteerde high-capacity voorloper de-activering en filtersysteem om high-volume batch-verwerking mogelijk te maken.
  • Oververhitting voorkomen door extra PLC met speciale thermokoppels, afgezien van de normale verwarming lus, voor de verhoging van de productie veiligheid.
  • Industrie-bewezen hoge herhaalbaarheid en betrouwbaarheid in de productie, gebaseerd op 30 jaar van ontwikkeling.

Last Update: 10. October 2011 12:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment