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P400A e P800 sistema de deposição Atomic Camada de Beneq

O Beneq P400A e P800 são sistemas ALD projetado para produção em escala industrial. Eles são ferramentas ideais para o dimensionamento-up deposição de filmes finos a partir de R & D da fase para full-size produção industrial. Os sistemas são confiáveis, industrialmente comprovada e madura em termos de distinção técnica. O projeto é baseado em 25 anos de operação (24 / 7) contínuo em aplicações industriais exigentes.

A maioria dos nossos clientes industriais exigem equipamentos dedicados e setups processo. Beneq tem vários in-house P400A e P800 sistemas para atender a uma ampla gama de necessidades de revestimento em desenvolvimento de aplicações e de película fina de P & D. Desta forma, os clientes que procuram equipamentos de produção pode verificar o desempenho técnico e financeiro do processo e equipamentos, antes de fazer um investimento. Além disso, oferecemos a possibilidade de baixo volume de produção até a fabricação própria do nosso cliente foi criado.

Destaca desempenho:

  • Escala de imediato até a produção após a R & D de fase.
  • Extensa exploração madeireira para controle de produção repetitivo.
  • UPS apoiado funções.
  • Baixa necessidade de manutenção.
  • Projeto de mini-ambiente único para flexibilidade no tamanho do lote de carga, e substrato, bem como controle de contaminação.
  • Mini-ambiente e de propriedade de filtragem projeto de trabalho de limpeza em separado a partir da base do sistema P400A. Sem tempo de inatividade devido à limpeza.
  • Custo-eficiente hot-parede e de alta capacidade do sistema em lotes.
  • Bloco de fonte única termicamente estável, com válvulas de dosagem patenteada rápida embutidos e canais de fluxo integrado.
  • Vácuo bombeamento multifásico sistema com, proprietária de alta capacidade precursor de ativação e sistema de filtragem para habilitar alto volume de processamento em lote.
  • Sobre-aquecimento impedido por PLC adicionais com termopares dedicado, além do ciclo de aquecimento normal, para a segurança aumento da produção.
  • Indústria comprovada alta repetibilidade e confiabilidade na produção, com base em 30 anos de desenvolvimento.

Last Update: 10. October 2011 03:45

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