Атомная Система Низложения Слоя P400A и P800 от Beneq

Атомная Система Низложения Слоя P400A и P800 от Beneq

Beneq P400A и P800 системы ALD конструированные для продукции промышленного масштаба. Они идеально инструменты для низложения тонкого фильма шкалирования-вверх от участка R&D к полноразрядному промышленному производству. Системы зависящий, промышленно доказано и зреют оперируя понятиями технического различения. Конструкция основана на 25 летах непрерывного (24/7) деятельность в требовать промышленным применениям.

Большой Часть из наших промышленных клиентов требует преданных настроений оборудования и процесса. Beneq имеет несколько внутренних P400A и системам P800, котор нужно поставить еду для широкого диапазона покрытия в разработке приложений и R&D тонкого фильма. Этот путь, клиенты ища производственное оборудование может проверить техническое и финансовохозяйственное представление процесса и оборудования, перед делать облечение. В добавлении, мы не будем предлагать возможность продукции низк-тома до собственного изготовления нашего клиента были настроены.

Самые интересные Представления:

  • Немедленный маштаб до продукции после участка R&D.
  • Обширный вносить в журнал для repeatable контроля над производством.
  • UPS поддержал функции.
  • Низкая потребность для обслуживания.
  • Уникально конструкция мини-окружающей среды для гибкости в нагрузке, серии и размере так же, как контроле заражения субстрата.
  • Мини-Окружающая Среда и собственническая фильтруя чистка конструкции отдельно работают от основания системы P400A. Отсутствие времени простоя должного к очищать.
  • Эффективная стоимостью горяч-стена и высокоемкая система серии.
  • Уникально термально стабилизированный блок источника с запатентованным речным порогом врезал дозировать клапаны и интегрировал каналы подачи.
  • Вакуумируйте насосную систему с многофазовыми, собственническими высокоемкий выключением прекурсора и системой фильтрации для того чтобы включить высокообъемную пакетную обработку.
  • Перегревать предотвращенный дополнительным PLC с преданными термопарами, отдельно от нормальной петли топления, для увеличенной безопасности продукции.
  • Индустри-Доказанные высокие повторимость и надежность в продукции, основанной на 30 летах развития.

Last Update: 11. January 2012 06:29

Other Equipment by this Supplier