Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Атомная Система Низложения Слоя P400A и P800 от Beneq

Beneq P400A и P800 системы ALD конструированные для продукции промышленного масштаба. Они идеально инструменты для низложения тонкого фильма шкалирования-вверх от участка R&D к полноразрядному промышленному производству. Системы зависящий, промышленно доказано и зреют оперируя понятиями технического различения. Конструкция основана на 25 летах непрерывного (24/7) деятельность в требовать промышленным применениям.

Большой Часть из наших промышленных клиентов требует преданных настроений оборудования и процесса. Beneq имеет несколько внутренних P400A и системам P800, котор нужно поставить еду для широкого диапазона покрытия в разработке приложений и R&D тонкого фильма. Этот путь, клиенты ища производственное оборудование может проверить техническое и финансовохозяйственное представление процесса и оборудования, перед делать облечение. В добавлении, мы не будем предлагать возможность продукции низк-тома до собственного изготовления нашего клиента были настроены.

Самые интересные Представления:

  • Немедленный маштаб до продукции после участка R&D.
  • Обширный вносить в журнал для repeatable контроля над производством.
  • UPS поддержал функции.
  • Низкая потребность для обслуживания.
  • Уникально конструкция мини-окружающей среды для гибкости в нагрузке, серии и размере так же, как контроле заражения субстрата.
  • Мини-Окружающая Среда и собственническая фильтруя чистка конструкции отдельно работают от основания системы P400A. Отсутствие времени простоя должного к очищать.
  • Эффективная стоимостью горяч-стена и высокоемкая система серии.
  • Уникально термально стабилизированный блок источника с запатентованным речным порогом врезал дозировать клапаны и интегрировал каналы подачи.
  • Вакуумируйте насосную систему с многофазовыми, собственническими высокоемкий выключением прекурсора и системой фильтрации для того чтобы включить высокообъемную пакетную обработку.
  • Перегревать предотвращенный дополнительным PLC с преданными термопарами, отдельно от нормальной петли топления, для увеличенной безопасности продукции.
  • Индустри-Доказанные высокие повторимость и надежность в продукции, основанной на 30 летах развития.

Last Update: 11. January 2012 06:29

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment