Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

P400A och P800 Atomic Layer Deposition System från Beneq

Den Beneq P400A och P800 är ALD system som är konstruerade för industriell skala. De är idealiska verktyg för uppskalning tunn film nedfall från FoU-fasen till full storlek industriell produktion. Systemen är pålitliga, industriellt beprövad och mogen när det gäller teknisk åtskillnad. Designen är baserad på 25 års kontinuerlig (24 / 7) drift i krävande industriella applikationer.

De flesta av våra industriella kunder kräver specifik utrustning och inställningar process. Beneq har flera interna P400A och P800 system för att tillgodose ett brett spektrum av beläggning behov i applikationsutveckling och tunn FoU På så sätt kan kunder som söker produktionsutrustning kontrollera den tekniska och ekonomiska resultat av processen och utrustningen, innan du gör en investering. Dessutom erbjuder vi möjligheten till låg volym produktion fram till kundens egen tillverkning har bildats.

Prestanda höjdpunkter:

  • Omedelbar skala upp till produktionen efter FoU-fasen.
  • Omfattande loggning för repeterbara produktionsstyrning.
  • UPS-funktioner som stöds.
  • Lågt behov av underhåll.
  • Unik mini-miljö design för flexibilitet i lastning, parti-och substrat storlek samt kontaminering kontroll.
  • Mini-miljö och egen filtrering utformning tvättas separat arbete från P400A systemet basen. Inget driftstopp på grund av rengöring.
  • Kostnadseffektiv hot-vägg-och hög kapacitet satsvis.
  • Unik termiskt stabil block med patenterad inbyggd snabb dosering ventiler och integrerad kanaler flöde.
  • Vakuum pumpsystem med flerfasiga egen hög kapacitet föregångare de-aktivering och filtreringssystem för att stora volymer satsvis bearbetning.
  • Överhettning förhindras genom ytterligare PLC med dedikerade termoelement, bortsett från normal värme slingan, för ökad produktion säkerhet.
  • Industri-bevisad hög repeterbarhet och tillförlitlighet i produktionen, baserat på 30 års utveckling.

Last Update: 17. October 2011 02:38

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment