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P400A 和 P800 从 Beneq 的基本层证言系统

Beneq P400AP800 是为工业等级的生产设计的 ALD 系统。 他们是为比例缩放薄膜证言的理想的工具从 R&D 阶段到大型工业生产。 系统是可靠的,行业证明并且成熟根据技术差异。 这个设计在 25 年持续基础上 (24/7) 在需求行业应用的运算。

大多我们的行业客户需要专用的设备和进程设置。 Beneq 有几个机构内部的 P400A,并且 P800 顾及各种各样的涂层的系统在应用程序开发和薄膜 R&D 需要。 这样,寻找生产设备的客户可能在做投资前验证进程和设备的技术和财政业绩。 另外,我们提供低音量生产的可能性直到我们的客户的自己的制造的被设置了。

性能高亮度显示:

  • 至生产的立即缩放比例在 R&D 阶段以后。
  • 广泛记录可重复的产量控制的。
  • UPS 支持功能。
  • 对维护的低需要。
  • 灵活性的唯一迷你环境设计在装载、批和基体范围以及污染控制。
  • 迷你环境和所有权过滤的设计单独清洁从 P400A 系统基础运作。 没有停机由于清洗。
  • 高消费的热墙壁和高容量批系统。
  • 与给予专利的急流的唯一稳定的来源块热量地埋置了药量阀门并且集成气流道。
  • 吸尘泵装置以多元状况,所有权高容量前体钝化和滤清系统启用大容积批处理。
  • 有专用的热电偶的另外的 PLC 防止的过度加热,除正常热化循环外,增加的生产安全性的。
  • 行业证明的高反复性和可靠性在生产,根据 30 年发展。

Last Update: 11. January 2012 06:13

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