P400A,P800原子層沉積系統從 Beneq

Beneq P400AP800的醛固酮系統設計為工業規模生產。他們擴大了薄膜沉積到全尺寸的工業生產從研發階段的理想工具。該系統是可靠的,工業證明和成熟技術的區別。設計是基於 25年(24 / 7)連續運行要求苛刻的工業應用。

大部分工業客戶需要專用的設備和工藝設置。 Beneq有幾個內部P400AP800系統,以應付廣泛的塗料需要在應用程序開發和薄膜的R& D通過這種方式,可以驗證客戶尋找生產設備的工藝和設備的技術和財務表現,然後才作出投資。此外,我們還提供小批量的生產的可能性已經成立,直到我們的客戶自己製造。

業績亮點:

  • 立即規模生產的研發階段後。
  • 廣泛的日誌記錄重複的生產控制。
  • UPS的支持功能。
  • 低需要進行維修。
  • 獨特的微環境設計,加載,批次和基板尺寸的靈活性,以及​​污染控制。
  • 迷你環境和專有的過濾設計單獨 P400A系統的基礎清潔工作。由於清潔無停機時間。
  • 具有成本效益的熱壁和高容量的批處理系統。
  • 專利的快速嵌入式定量閥門和整合流通渠道,獨特的熱穩定的源塊。
  • 抽真空與多相體系,專有的高容量的易制毒化學德的激活和過濾系統,使大批量的批處理。
  • 防止過度加熱額外的PLC專用熱電偶,除了正常加熱循環,增加安全生產。
  • 業界公認的高重複性和可靠性在生產中,基於 30年的發展。

Last Update: 3. October 2011 22:28

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