Die spektralanalytische ellipsometer SENresearch Breitbandfamilie wird konstruiert, um die Bedingungen der modernen Forschung mit besonderer Betonung auf Drehzahl und Genauigkeit für eine nicht angepasste Vielzahl von Anwendungen zu erfüllen.
Die SENresearch-Familie von spektralanalytischen ellipsometers behandelt die Effekte von wirkliche Weltproben wie Depolarisierung, Ungleichmäßigkeiten, dem Zerstreuen und Rückseitenreflexion. SENresearch-ellipsometers werden bedient, indem man SpectraRay/3 formen, befestigen, und berichten, SENTECH für Datenerfassung umfassende Software, von ellipsometric, von Reflexion und von Übertragungsdaten.
Anwendungen
Hauptanwendungen der spektralanalytischen Breitbandellipsometers SENresearch sind:
- Stärke und Brechungskoeffizient von Filmen und von mehrschichtigen Stapeln
- Analyse der materiellen Zusammensetzung
- Absorptionsindex
- Indexsteigung
- Oberflächen-/Schnittstellenrauheit
- Anisotropes Verhalten