A família espectroscópica de faixa larga do ellipsometer de SENresearch é projectada cumprir as exigências da pesquisa moderna com ênfase especial na velocidade e na precisão para uma variedade ímpar de aplicações.
A família de SENresearch de ellipsometers espectroscópicas trata os efeitos de amostras do mundo real como a despolarização, as não uniformidades, a dispersão e a reflexão da parte traseira. Os ellipsometers de SENresearch são operados SpectraRay/3, o software detalhado de SENTECH para por aquisição de dados, pela modelagem, caber, e relatar de elipsométrico, da reflexão, e dos dados da transmissão.
Aplicações
As aplicações Principais dos ellipsometers espectroscópicas de faixa larga de SENresearch são:
- Espessura e R.I. dos filmes e das pilhas da multi-camada
- Análise da composição material
- Deslocamento predeterminado da Absorção
- Inclinação do Deslocamento Predeterminado
- Aspereza da Superfície/relação
- Comportamento Anisotrópico