Bereich-Erweiterungsfähige kälteerzeugende Fühlerstation - See-Ufer-Baumuster CPX

Das Baumuster CPX ist eine vielseitige kälteerzeugende micromanipulated Fühlerstation, die ein für zerstörungsfreie Prüfung von den vollen Einheiten und von teilweisen Wafers bis 51 mm (2 herein) verwendet wird im Durchmesser. Das CPX ist eine Plattform für Maß elektrischen, elektrooptischen, parametrischen, hohen Z, des GLEICHSTROMES, der HFS und der Mikrowelleneigenschaften der Materialien und der Versuchseinrichtungen. Nanoscale-Elektronik, Quantumskabel und -punkte und Halbleiter sind die typischen Materialien, die in einem CPX gemessen werden. Eine breite Auswahl von Fühlern, von Kabeln, von Beispielhalterungen und von Optionen macht es möglich, das CPX zu konfigurieren, um Ihre spezifischen Maßanwendungen zu treffen.

Das CPX funktioniert über einer Temperaturspanne 4,2 K bis 475 K. Mit Optionen kann die falsche Temperatur bis 1,5 K. unten ausgedehnt werden. Die Fühlerstation versorgt effiziente Temperaturoperation und -regelung mit einer kontinuierlichen Kühlanlage entweder unter Verwendung des Heliums oder des Stickstoffes. die Dampf-Abgekühlte Abschirmung optimiert Leistungsfähigkeit und fängt Strahlung des schwarzen Körpers ab, bevor es die Probe erreicht. Eine Steuerheizung auf der Beispielstufe zusammen mit den Strahlungsschildheizungen versehen die Fühlerstation mit schneller thermischer Antwort.

Das CPX ist der Benutzer, der mit bis sechs ultra-stabilen mikro-manipulierten Fühlerwaffen konfiguriert wird. Jede Waffe liefert die genaue Regelung mit 3 Schwerpunkten der Fühlerstellung, um das Fühlerumkippung auf Einheitsmerkmalen genau zu landen. Die Beispielstufe liefert auf gleicher Ebene Rotation, um Ausrichtung von Mustern mit Stufenäxten zu erlauben. Eigene Fühlerspitzen in einer Vielzahl von Größen und von Materialien setzen thermische Masse herab und optimieren elektrische Kontakte zur Einheit in Versuch (DUT). Fühlerspitzen werden thermisch mit der Beispielstufe verbunden, um Wärmeübertragung auf das DUT herabzusetzen.

Für erhöhte Vielseitigkeit umfassen CPX-Optionen Temperaturen unten bis 1,5 K, Hochvakuum, Schleuseeinheit, Schwingungsisolierungsanlagen, LNc-Dewarsatz, höheres Vergrößerungsmikroskop, Pumpsystem Vakuum-Turbos und Faseroptikfühlerwaffenmodifikation.

Merkmale Fühler-der Station des Baumuster-CPX

  • Hohe Stabilitätsoperation von 1,5 K bis 475 K
  • Probe kann bei Zimmertemperatur gewartet werden, während Anlage abkühlt und Potenzial für Kondensation verringern
  • Mehrfache Strahlungsschilder optimiert, um cryogen Verbrauch herabzusetzen
  • Beispielstufe mit ±5° Rotation auf gleicher Ebene
  • Maße von GLEICHSTROM zu 67 Gigahertz
  • Wahlweisehochvakuum zu 10-7 Torr
  • Wahlweiseschleuseeinheit
  • Passt Durchmesserwafers bis 51 mm (2 herein) an
  • Konfigurierbar mit bis sechs thermisch verankertem micromanipulated Fühler armiert
  • Prüfen Sie Waffen mit 3 Schwerpunktseinstellungen und ±5°-Theta planarization
  • Kabel, Schilder und Abdeckungen setzen elektrische Geräusche und Wärmestrahlungsverluste herab
  • Optionen und Zubehör für Kundenbezogenheit zum spezifischen Forschungsbedarf

Last Update: 5. September 2012 11:46

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