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Cryogen-Freie kälteerzeugende Fühlerstation mit 4 K - See-Ufer-Baumuster CRX-4K

Das Baumuster CRX-4K ist eine vielseitige cryogen-freie mikro-manipulierte Fühlerstation, die ein für zerstörungsfreie Prüfung von den vollen Einheiten und von teilweisen Wafers bis 51 mm (2 herein) verwendet wird im Durchmesser. Das CRX-4K ist eine Plattform für Maß elektrischen, elektrooptischen, parametrischen, hohen Z, des GLEICHSTROMES, der HFS und der Mikrowelleneigenschaften der Materialien und der Versuchseinrichtungen. Nanoscale-Elektronik, Quantumskabel und -punkte und Halbleiter sind die typischen Materialien, die in einem CRX-4K gemessen werden. Eine breite Auswahl von Fühlern, von Kabeln, von Beispielhalterungen und von Optionen macht es möglich, das CRX-4K zu konfigurieren, um Ihre spezifischen Maßanwendungen zu treffen.

Basiert auf einer falschen Temperatur CCR Sumitomo 4 K, stellt das CRX-4K effiziente Temperaturoperation und -regelung über einer Temperaturspanne 4,5 K bis 350 K ohne die Betriebskosten von flüssigen cryogens zur Verfügung. Eine wahlweise austauschbare Halterung der hohen Temperatur Beispielstellt eine Temperaturspanne 50 K bis 475 K. zur Verfügung. Jede kälteerzeugende Stufe wird mit einem Fühler und einer Heizung ausgerüstet, um schnelle thermische Antwort und schnelles Aufwärmen für Beispielaustausch zur Verfügung zu stellen. Die Aktiv abgekühlte Abschirmung fängt Strahlung des schwarzen Körpers, bevor es die Probe erreicht ab und stellt kleine thermische Steigungen sicher.

Vorsichtige Auslegungserwägung wurde genommen, um eine niedrige Schwingung, benutzerfreundliches Hilfsmittel zur Verfügung zu stellen. Integrierte Schwingungsisolierung und die Dämpfung verhindert Körperschall am Beeinflussen von Maßleistung. Beispielstufenschwingung ist weniger als 1 µm (X-, O- und Z-Äxte) durch die komplette Temperaturspanne begrenzt.

Das CRX-4K ist der Benutzer, der mit bis sechs ultra-stabilen micromanipulated Fühlerwaffen, jede zur Verfügung stellende genaue Fühler-Stellungsregelung mit 3 Schwerpunkten konfiguriert wird, die Fühlerspitze auf Einheitsmerkmalen genau zu landen. Jeder Fühler kann rotiertes ±5° über seinen Schwerpunkt auch sein (planarized) zum von Multispitze Fühlern sicherzustellen werden ausgerichtet richtig mit der Probe. GLEICHSTROM-Maße können für lärmarmen, hochohmigen (niedrige Leckage) oder hoch-thermischen Kontakt zur Einheit in Versuch optimiert werden (DUT). HF-Maße umfassen Konfigurationen bis zu 67 Gigahertz. Optische Quellen können durch Darstellungsfeldfenster oder wahlweise Faseroptikfühlerwaffenmodifikation eingeführt werden. Eigene Fühlerwaffen in einer Vielzahl von Größen und von Materialien setzen thermische Masse herab und optimieren elektrischen Kontakt zum DUT. Darüber hinaus werden Fühlerspitzen thermisch mit der Beispielstufe verbunden, um Wärmeübertragung auf das DUT herabzusetzen.

Merkmale Fühler-der Station des Baumuster-CRX-4K

  • Kreisprozesskühlraum stellt cryogen-freie Operation der hohen Stabilität von 4,5 K bis 350 K zur Verfügung
  • WahlweiseTemperaturspanne von 50 K bis 475 K
  • Steuerstabilität bis 10 M
  • Beispielaustausch-Schleifenzeit von <3>
  • Niedrige Schwingungsauslegung: <1>
  • Maße von GLEICHSTROM zu 67 Gigahertz
  • Beispielhalterungen optimiert für die lärmarmen, Hochfrequenz- oder hochohmigen Maße
  • Passt Durchmesserwafers bis 51 mm (2 herein) an
  • Konfigurierbar mit bis sechs thermisch verankertem mikro-manipuliertem Fühler armiert
  • Prüfen Sie Waffen mit 3 Schwerpunktseinstellungen und ±5°-Theta planarization
  • Kabel, Schilder und Abdeckungen setzen elektrische Geräusche und Wärmestrahlungsverluste herab
  • Optionen und Zubehör für Kundenbezogenheit zum spezifischen Forschungsbedarf

Last Update: 5. September 2012 11:46

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