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Cryogen なしの 4 つの K の低温学のプローブ端末 - 湖の海岸モデル CRX-4K

モデル CRX-4K は直径で完全な装置使用する多目的な cryogen なしのマイクロ処理されたプローブ端末および部分的なウエファーの非破壊的なテストに 51 までの mm (2) です。 CRX-4K は材料およびテスト装置の電気、電気光学、パラメーター付き、高い Z、 DC、 RF およびマイクロウェーブ特性の測定のためのプラットホームです。 Nanoscale の電子工学、量のワイヤーおよび点および半導体は CRX-4K で測定される典型的な材料です。 プローブ、ケーブル、サンプルホールダーおよびオプションの幅広い選択は特定の測定アプリケーションに会うために CRX-4K を設定することを可能にします。

Sumitomo 4 K の基準温度 CCR に基づいて、 CRX-4K は液体の cryogens の操業費なしで 350 K に 4.5 K の温度較差の効率的な温度操作そして制御を提供します。 任意選択交換可能な高温サンプルホールダーは 475 K. に 50 K の温度較差を提供します。 各々の低温学の段階はセンサーおよびヒーターがサンプル交換に速い熱応答および急速なウォーミングアップを提供するために装備されています。 実行中に冷却された保護はサンプルに達する前に黒体放射を代行受信しま、小さい熱勾配を保障します。

注意深いデザイン考察は低い振動、ユーザーフレンドリーのツールを提供するために取られました。 機械振動が測定パフォーマンスに影響を与えることを統合された振動隔離および弱まることは防ぎます。 サンプル段階の振動はフル・スケールの温度較差を通して 1 つ以下の µm (X、 Y および Z の斧) 限定されます。

CRX-4K は装置機能でプローブの先端を正確に上陸させるために 6 つまでの超安定した micromanipulated プローブアームによって設定されるユーザー各々の提供の精密な 3 軸線のプローブの位置制御です。 各プローブはまたサンプルときちんと一直線に並びます複数の先端のプローブを保障する軸線についての回された ±5° (planarized) である場合もあります。 DC の測定は低雑音、高インピーダンス (低い漏出)、またはテストの下の装置への高熱接触のために最適化することができます (DUT)。 RF の測定は 67 の GHz まで構成が含まれています。 光学ソースはビューポートの Windows か任意選択光ファイバプローブアーム修正によってもたらすことができます。 いろいろなサイズおよび材料の専有プローブアームは熱大容量を最小化し、 DUT に電気接触を最適化します。 さらに DUT への熱伝達を最小化するために、プローブの先端はサンプル段階に熱的にリンクされます。

モデル CRX-4K プローブ端末の機能

  • クローズド・サイクル冷却装置は 4.5 K からの 350 K に安定性が高い cryogen なしの操作を提供します
  • 50 K からの 475 K への任意選択温度較差
  • 10 mK への制御安定性
  • サンプル交換サイクル時間の <3>
  • 低い振動デザイン: <1>
  • DC からの 67 の GHz への測定
  • 低雑音、高周波かまたは高いインピーダンス測定のために最適化されるサンプルホールダー
  • 51 までの mm (2) の直径のウエファーを取り扱います
  • 6 つまでの熱的に固定されたマイクロ処理されたプローブと設定可能武装します
  • 3 軸線の調節および ±5° のΘの planarization のアームを厳密に調べて下さい
  • ケーブル、盾および警護は電気騒音および熱放射の損失を最小化します
  • 特定の研究の必要性へのカスタマイゼーションのためのオプションそしてアクセサリ

Last Update: 5. September 2012 11:46

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