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Cryogen 자유로운 4개의 K 저온 탐사기 역 - 호수 해안 모형 CRX-4K

모형 CRX-4K는 직경에서 가득 차있는 장치 위에 사용된 다재다능한 cryogen 자유로운 마이크로 조작한 탐사기 역과 부분적인 웨이퍼의 비파괴적인 테스트에 51까지 mm (2 안으로)입니다. CRX-4K는 물자와 시험 장치의 전기, 전기 광학, 매개 변수, 높은 Z, DC, RF 및 마이크로파 속성의 측정을 위한 플래트홈입니다. Nanoscale 전자공학, 양 철사 및 점 및 반도체는 CRX-4K에서 측정된 전형적인 물자입니다. 탐사기, 케이블, 견본 홀더 및 선택권의 다양한 종류는 특정 측정 응용을 충족시키기 위하여 CRX-4K를 구성하게 가능하게 합니다.

Sumitomo 4 K 기준 온도 CCR에 기지를 두어, CRX-4K는 액체 cryogens의 경영비 없이 350 K에 4.5 K의 온도 편차에 능률적인 온도 작동 그리고 통제를 제공합니다. 선택적인 호환성이 있는 고열 견본 홀더는 475 K.에 50 K의 온도 편차를 제공합니다. 각 저온 단계는 센서 및 히이터 견본 교환을 단단 열 반응 및 급속한 워밍업을 제공하기 위하여 장비됩니다. 액티브하게 냉각한 보호는 견본을 도달하기 전에 흑체 방사선을 차단해, 작은 열 기온변화도를 지키.

주의깊은 디자인 고려사항은 낮은 진동, 사용하기 쉬운 공구를 제공하기 위하여 취했습니다. 통합 진동 격리 및 감쇠는 측정 성과에 영향을 미치기에서 기계적인 진동을 방지합니다. 견본 단계 진동은 실물대 온도 편차를 통해서 1개 미만 µm이라고 (X, Y 및 Z 도끼) 제한됩니다.

CRX-4K는 장치 특징에 탐사기 끝을 정확하게 도착하는 6개까지 매우 안정되어 있는 micromanipulated 탐사기 무기로 구성된 사용자, 각 제공 정확한 3 측 탐사기 위치 통제 입니다. 각 탐사기는 또한 견본을 제대로 맞추어집니다 (planarized) 다중 끝 탐사기를 지키는 그것의 축선에 관하여 자전한 ±5°일 수 있습니다. DC 측정은 저잡음, 높 임피던스 (낮은 누설), 또는 시험 상황에서 장치에 높 열 접촉을 위해 낙관될 수 있습니다 (DUT). RF 측정은 67 GHz까지 윤곽을 포함합니다. 광학적인 근원은 보임창 Windows 또는 선택적인 광섬유 탐사기 무기 수정을 통해 소개될 수 있습니다. 다양한 규모 및 물자에 있는 소유 탐사기 무기는 열 질량을 극소화하고 DUT에 전기적 접점을 낙관합니다. 추가적으로, 탐사기 끝은 견본 단계에 열로 DUT에 열전달을 극소화하기 위하여 연결됩니다.

모형 CRX-4K 탐사기 역의 특징

  • 닫히는 주기 냉장고는 4.5 K에서 350 K에 높은 안정성 cryogen 자유로운 작동을 제공합니다
  • 50 K에서 475 K에 선택적인 온도 편차
  • 10 mK에 통제 안정성
  • 견본 교환 주기 시간의 <3>
  • 낮은 진동 디자인: <1>
  • DC에서 67 GHz에 측정
  • 저잡음, 고주파, 높은 임피던스 측정을 위해 낙관되는 견본 홀더
  • 51까지 mm (2 안으로) 직경 웨이퍼를 수용합니다
  • 6개까지 열로 정박한 마이크로 조작한 탐사기에 설정 가능한 무장합니다
  • 3 측 조정 및 ±5° 시타 planarization를 가진 무기를 시험하십시오
  • 케이블, 방패 및 가드는 전기 소음 및 열 복사 손실을 극소화합니다
  • 특정 연구 필요에 주문화를 위한 선택권 그리고 부속품

Last Update: 5. September 2012 11:47

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