XE-HDM ist ein automatisches Defektzusammenfassung FLUGHANDBUCH, das die Methodendefekte in HDD-Substratflächen revolutioniert und Media gesucht, gescannt und analysiert werden. Das neue XE-HDM erhöht beträchtlich Durchsatz für den Defektüberprüfungsprozeß; Versuche mit wirklichen Defekten zeigen über 500 - 800% der Verstärkung im Durchsatz im Vergleich zu anderen Methoden der Defektzusammenfassung.
Artefakt Freie Metrologie durch Übersprechen-Beseitigung
- Unabhängiger Zwei, Regel-X-Y- und Z-Biegungsscanner für Probe und Spitze
- Flacher und linearer X-Yscan von µm 100 µm x 100 mit niedrig Restbogen
- Aus flachem Antrag von heraus weniger als 2 nm über gesamtem Arbeitsbereich
- Genaue Merkmalsmaße mit führendem Anzeigeinstrumentsigma der Industrie
- Überlegenes Hilfsmittel zum Hilfsmittelübereinstimmen
Längere Spitzen-Lebensdauer durch Wahren Berührungsfreien Modus
- 10mal größere Z-Scan Bandweite als ein piezotube
- 10mal oder längere Spitzenlebensdauer für Darstellung des universellen Zweckes u. des Defektes
- Weniger Spitzenabnützung für verlängerte hochwertige und hochauflösende Darstellung
- Herabgesetzter Beispielschaden oder -modifikation
- Immunität von den Parameter-abhängigen Ergebnissen beobachtet in klopfender Darstellung
Automatische Defekt-Zusammenfassung für Media und Substratflächen
- Volle Automatisierung ergibt 500~800% Verstärkung im Durchsatz
- Erlaubt Benutzern, einige Hilfsmittel gleichzeitig zu handhaben
- Übertragen Sie Candela-Defektkarten KLA Tencor auf XE-HDM
- Automatisierter Übersichtsscan von den Defekten abgebildet durch Candela
- Automatisiert Summen-im Scan von festgelegten Defekten
- Automatisiertes Ein Profil erstellen von abgebildeten Defektbaumustern
- Automatisierte Analyse von abgebildeten Defekten