Automatische Defekt-Zusammenfassungs-AtomKraft-Mikroskop Park Anlagen-XE-HDM

XE-HDM ist ein automatisches Defektzusammenfassung FLUGHANDBUCH, das die Methodendefekte in HDD-Substratflächen revolutioniert und Media gesucht, gescannt und analysiert werden. Das neue XE-HDM erhöht beträchtlich Durchsatz für den Defektüberprüfungsprozeß; Versuche mit wirklichen Defekten zeigen über 500 - 800% der Verstärkung im Durchsatz im Vergleich zu anderen Methoden der Defektzusammenfassung.

Artefakt Freie Metrologie durch Übersprechen-Beseitigung

  • Unabhängiger Zwei, Regel-X-Y- und Z-Biegungsscanner für Probe und Spitze
  • Flacher und linearer X-Yscan von µm 100 µm x 100 mit niedrig Restbogen
  • Aus flachem Antrag von heraus weniger als 2 nm über gesamtem Arbeitsbereich
  • Genaue Merkmalsmaße mit führendem Anzeigeinstrumentsigma der Industrie
  • Überlegenes Hilfsmittel zum Hilfsmittelübereinstimmen

Längere Spitzen-Lebensdauer durch Wahren Berührungsfreien Modus

  • 10mal größere Z-Scan Bandweite als ein piezotube
  • 10mal oder längere Spitzenlebensdauer für Darstellung des universellen Zweckes u. des Defektes
  • Weniger Spitzenabnützung für verlängerte hochwertige und hochauflösende Darstellung
  • Herabgesetzter Beispielschaden oder -modifikation
  • Immunität von den Parameter-abhängigen Ergebnissen beobachtet in klopfender Darstellung

Automatische Defekt-Zusammenfassung für Media und Substratflächen

  • Volle Automatisierung ergibt 500~800% Verstärkung im Durchsatz
  • Erlaubt Benutzern, einige Hilfsmittel gleichzeitig zu handhaben
  • Übertragen Sie Candela-Defektkarten KLA Tencor auf XE-HDM
  • Automatisierter Übersichtsscan von den Defekten abgebildet durch Candela
  • Automatisiert Summen-im Scan von festgelegten Defekten
  • Automatisiertes Ein Profil erstellen von abgebildeten Defektbaumustern
  • Automatisierte Analyse von abgebildeten Defekten

Last Update: 15. July 2013 04:42

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