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Microscopio Atómico de la Fuerza de la Revista Automática del Defecto de los Sistemas XE-HDM del Parque

XE-HDM es una revista automática AFM del defecto que revoluciona los defectos de la manera en substratos de HDD y se exploran, se exploran, y se analizan los media. El nuevo XE-HDM aumenta importante la producción para el proceso de la revista del defecto; las pruebas con defectos reales demuestran sobre el avance de 500 - del 800% en la producción en comparación con otros métodos de revista del defecto.

Metrología Libre del Artefacto por la Eliminación de la Diafonía

  • Independiente Dos, analizadores XY y de Z a circuito cerrado de la flexión para la muestra y la punta
  • Exploración XY Plana y lineal 100 del µm del µm x 100 con el arqueamiento bajo residual
  • Fuera del movimiento plano de menos de 2 nanómetro sobre la exploración entera colocan
  • Mediciones Exactas de la característica con sigma de cabeza del indicador de la industria
  • Herramienta Superior a corresponder con de la herramienta

Una Vida Más Larga de la Punta por Modo Sin contacto Verdadero

  • una anchura de banda de 10 veces más grande de la Z-Exploración que un piezotube
  • 10 veces o una vida más larga de la punta para la proyección de imagen de los fines generales y del defecto
  • Menos desgaste de la punta para la proyección de imagen de alta calidad y de alta resolución prolongada
  • Daño o modificación Disminuido de la muestra
  • Inmunidad de los resultados parámetro-relacionados observados en proyección de imagen que golpea ligeramente

Revista Automática del Defecto para los Media y los Substratos

  • La automatización Completa da lugar al avance del 500~800% en la producción
  • Permite que los utilizadores manejen varias herramientas simultáneamente
  • Transfiera las correspondencias del defecto de la Candela de KLA Tencor a XE-HDM
  • Exploración Automatizada de la encuesta de los defectos correlacionados por Candela
  • Exploración Automatizada del encabritado de defectos especificados
  • Perfilado Automatizado de los tipos reflejados del defecto
  • Análisis Automatizado de defectos reflejados

Last Update: 15. July 2013 04:49

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