XE-HDM es un defecto de revisión automática de AFM que revoluciona la forma de defectos en los sustratos de discos duros y medios de comunicación se buscan, escaneados y analizados. La nueva XE-HDM aumenta significativamente el rendimiento del proceso de revisión defecto, la prueba se ejecuta con defectos reales demuestran más de 500 a 800% de ganancia en el rendimiento en comparación con otros métodos de revisión de defectos.
Artefacto libre de Metrología por diafonía eliminación
- Dos independientes, de circuito cerrado XY y Z flexión escáneres para la muestra y la punta
- Plana y lineal XY exploración de 100 m x 100 m con el arco residual de baja
- De movimiento en el plano de menos de 2 nm en el rango de exploración completa
- Mediciones precisas característica con la industria líder de calibre sigma
- Herramienta superior a la herramienta de correspondencia
Consejo ya la vida por la verdad sin contacto Modo
- 10 veces más grande Z-scan de ancho de banda de un piezotube
- 10 veces o más vida de la punta para uso general y defectos de imagen
- Menor desgaste de la punta prolongada de alta calidad y alta resolución de imagen
- Muestra minimizado el daño o modificación
- La inmunidad de los resultados de los parámetros que dependen de observar en el aprovechamiento de imágenes
Revisión automática de defectos de los medios de comunicación y Sustratos
- Los resultados completos de automatización en 500 ~ 800% de ganancia en el rendimiento
- Permite a los usuarios para gestionar varias herramientas al mismo tiempo
- Transferencia del ELK Tencor Candela defecto mapas de XE-HDM
- Escaneo automatizado de los defectos de la encuesta asignada por Candela
- Automatizado zoom-in de exploración de los defectos especificados
- Perfiles automatizados de tipos de defectos imágenes
- El análisis automatizado de los defectos de imágenes