XE-HDM est une révision automatique AFM de défaut qui révolutionne les défauts de voie en substrats de HDD et des medias sont recherchés, balayés, et analysés. Le XE-HDM neuf augmente de manière significative le débit pour le procédé de révision de défaut ; les essais avec les défauts réels expliquent plus de gain de 500 - de 800% dans le débit en comparaison avec d'autres méthodes de révision de défaut.
Métrologie Libre d'Artefact par Élimination d'Interférence
- Indépendant Deux, balayeurs en boucle bloquée DE X/Y et de Z de flexure pour l'échantillon et l'extrémité
- Échographie DE X/Y Plate et linéaire 100 du µm du µm X 100 avec la proue bas résiduelle
- Hors du mouvement plat de moins de 2 nanomètre au-dessus de l'échographie entière s'échelonnent
- Mesures Précises de caractéristique technique avec le principal sigma d'outil d'industrie
- Outil Supérieur pour usiner apparier
Une Plus Longue Durée De Vie d'Extrémité par Véritable Mode De non contact
- plus grande largeur de bande de Z-Échographie une de 10 fois qu'un piezotube
- 10 fois ou plus longue durée de vie d'extrémité pour la représentation d'usage universel et de défaut
- Moins d'usure d'extrémité pour la représentation de haute qualité et à haute résolution prolongée
- Les dégâts ou modification Réduits À Un Minimum d'échantillon
- Immunité des résultats paramètre-dépendants observés dans la représentation de filetage
Révision Automatique de Défaut pour des Medias et des Substrats
- La Pleine automatisation a comme conséquence le gain de 500~800% dans le débit
- Permet à des utilisateurs de manager plusieurs outils simultanément
- Le défaut de Bougie du Transfert KLA Tencor trace à XE-HDM
- Échographie Robotisée d'étude des défauts tracés par Bougie
- Automatisé zoom-dans l'échographie des défauts spécifiques
- Profilage Robotisé des types imagés de défaut
- Analyse Robotisée des défauts imagés