Microscope Atomique de Force de Révision Automatique de Défaut des Systèmes XE-HDM de Parc

Microscope Atomique de Force de Révision Automatique de Défaut des Systèmes XE-HDM de Parc

XE-HDM est une révision automatique AFM de défaut qui révolutionne les défauts de voie en substrats de HDD et des medias sont recherchés, balayés, et analysés. Le XE-HDM neuf augmente de manière significative le débit pour le procédé de révision de défaut ; les essais avec les défauts réels expliquent plus de gain de 500 - de 800% dans le débit en comparaison avec d'autres méthodes de révision de défaut.

Métrologie Libre d'Artefact par Élimination d'Interférence

  • Indépendant Deux, balayeurs en boucle bloquée DE X/Y et de Z de flexure pour l'échantillon et l'extrémité
  • Échographie DE X/Y Plate et linéaire 100 du µm du µm X 100 avec la proue bas résiduelle
  • Hors du mouvement plat de moins de 2 nanomètre au-dessus de l'échographie entière s'échelonnent
  • Mesures Précises de caractéristique technique avec le principal sigma d'outil d'industrie
  • Outil Supérieur pour usiner apparier

Une Plus Longue Durée De Vie d'Extrémité par Véritable Mode De non contact

  • plus grande largeur de bande de Z-Échographie une de 10 fois qu'un piezotube
  • 10 fois ou plus longue durée de vie d'extrémité pour la représentation d'usage universel et de défaut
  • Moins d'usure d'extrémité pour la représentation de haute qualité et à haute résolution prolongée
  • Les dégâts ou modification Réduits À Un Minimum d'échantillon
  • Immunité des résultats paramètre-dépendants observés dans la représentation de filetage

Révision Automatique de Défaut pour des Medias et des Substrats

  • La Pleine automatisation a comme conséquence le gain de 500~800% dans le débit
  • Permet à des utilisateurs de manager plusieurs outils simultanément
  • Le défaut de Bougie du Transfert KLA Tencor trace à XE-HDM
  • Échographie Robotisée d'étude des défauts tracés par Bougie
  • Automatisé zoom-dans l'échographie des défauts spécifiques
  • Profilage Robotisé des types imagés de défaut
  • Analyse Robotisée des défauts imagés

Last Update: 15. July 2013 04:41

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