XE-HDM è un esame automatico AFM di difetto che rivoluziona i difetti di modo in substrati di HDD ed i media sono cercati, scanditi e sono analizzati. Il nuovo XE-HDM aumenta significativamente la capacità di lavorazione per il trattamento di esame di difetto; le esecuzioni dei test con i difetti reali dimostrano oltre aumento di 800% - di 500 della capacità di lavorazione in paragone ad altri metodi di esame di difetto.
Metrologia Libera del Artefatto dall'Eliminazione di Interferenza
- Indipendente Due, scanner a circuito chiuso di Z e DI X-Y di flessione per il campione ed il suggerimento
- Una scansione DI X-Y Piana e lineare 100 del µm del µm x 100 con la prua in basso residua
- Da moto piano di meno di 2 nanometro sopra l'intera scansione variano
- Misure Accurate della funzionalità con il sigma leader del settore del calibro
- Strumento Superiore alla corrispondenza dello strumento
Vita Più Lunga del Suggerimento dal Vero Modo Senza contatto
- più grande di 10 volte larghezza di banda di Z-Scansione che un piezotube
- 10 volte o vita più lunga del suggerimento per rappresentazione di difetto & di uso generale
- Meno usura del suggerimento per rappresentazione di alta qualità ed ad alta definizione prolungata
- Danno o modifica Minimizzato del campione
- Immunità dai risultati parametro-dipendenti osservati nella rappresentazione di spillatura
Rassegna Automatica di Difetto per i Media ed i Substrati
- L'automazione Completa provoca l'aumento di 500~800% della capacità di lavorazione
- Permette che gli utenti gestiscano simultaneamente parecchi strumenti
- Il difetto di Candela di Trasferimento KLA Tencor mappa a XE-HDM
- Scansione Automatizzata di indagine dei difetti mappati dalla Candela
- Automated zumma la scansione dei difetti specificati
- Delineamento Automated dei tipi imaged di difetto
- Analisi Automatizzata dei difetti imaged