公園システム XE-HDM 自動欠陥の検討原子力の顕微鏡

XE-HDM は HDD の基板の方法欠陥を革命化し、媒体が検索され、スキャンされ、そして分析される自動欠陥の検討 AFM です。 新しい XE-HDM は欠陥の検討プロセスのためにかなりスループットを増加します; 実質の欠陥のテストランは欠陥の検討の他の方法と比較するとスループットの 500 - 800% の利得に示します。

混線除去による人工物の自由な度量衡学

  • サンプルおよび先端のための 2 独立、クローズド・ループ X-Y および Z のたわみのスキャンナー
  • 低く残りの弓が付いている 100 µm X の 100 µm の平らな、線形 X-Y スキャン
  • 平らな動きからの全体のスキャンに 2 つ以下 nm 及びます
  • 企業の一流のゲージシグマの正確な機能測定
  • ツールの一致への優秀なツール

本当の無接触モードによるより長い先端の生命

  • 10 piezotube より倍大きい Z スキャン帯域幅
  • 一般目的及び欠陥イメージ投射のための 10 回かより長い先端の生命
  • 延長された良質および高解像イメージ投射のためのより少ない先端の摩耗
  • 最小化されたサンプル損傷か修正
  • 叩くイメージ投射で観察されるパラメータ依存した結果からの免除

媒体および基板のための自動欠陥の検討

  • 完全なオートメーションはスループットの 500~800% の利得で起因します
  • ユーザーを複数のツールを同時に管理することを許可します
  • XE-HDM に KLA Tencor カンデラ欠陥のマップを転送して下さい
  • カンデラマップされる欠陥の自動化された調査スキャン
  • 指定欠陥のスキャンズームレンズで自動化される
  • 視覚化された欠陥のタイプの自動化された側面図を描くこと
  • 視覚化された欠陥の自動解析

Last Update: 15. July 2013 04:44

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