공원 시스템 XE-HDM 자동적인 결점 검토 원자 군대 현미경

XE-HDM는 HDD 기질에 있는 쪽 결점을 혁명을 일으키고 매체가 발견되고, 검사되고, 분석되는 자동적인 결점 검토 AFM입니다. 새로운 XE-HDM는 결점 검토 프로세스를 위해 중요하게 처리량을 증가시킵니다; 실제적인 결점에 시운전은 결점 검토의 그밖 방법과 비교할 때 처리량에 있는 500 - 800% 이익 이상 설명합니다.

누화 제거에 의하여 인공물 자유로운 도량형학

  • 견본과 끝을 위한 2 무소속자, 닫힌 루프 XY와 Z 굴곡 스캐너
  • 낮게 잔여 활을 가진 100 µm x 100 µm의 편평한 선형 XY 검사
  • 편평한 움직임에서의 전체 검사에 2개 미만은 nm 구역 수색합니다
  • 기업 주요한 계기 시그마를 가진 정확한 특징 측정
  • 공구 일치에 우량한 공구

확실한 비접촉형에 의하여 더 긴 끝 생활

  • 10 piezotube 보다는 시간 더 큰 Z 검사 대역폭
  • 다목적 & 결점 화상 진찰을 위한 10 시간 또는 더 긴 끝 생활
  • 머리말을 붙인 고품질과 고해상도 화상 진찰을 위한 더 적은 끝 착용
  • 극소화된 견본 손상 또는 수정
  • 두드리는 화상 진찰에서 관찰되는 매개변수 의존하는 결과에서 면제

매체와 기질을 위한 자동적인 결점 검토

  • 가득 차있는 자동화는 처리량에 있는 500~800% 이익 귀착됩니다
  • 사용자가 몇몇 공구를 동시에 처리하는 것을 허용합니다
  • XE-HDM로 KLA Tencor 칸델라 결점 지도를 옮기십시오
  • 칸델라로 지도로 나타나는 결점의 자동화된 조사 검사
  • 지정된 결점의 검사급상승 에서 자동화하는
  • imaged 결점 모형의 자동화된 윤곽을 그리기
  • imaged 결점의 자동화된 분석

Last Update: 15. July 2013 04:45

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