XE-HDM er et automatisk defekt gjennomgang AFM som revolusjonerer måten defekter i HDD underlag og media er søkte, skannet og analysert. Den nye XE-HDM øker betydelig gjennomstrømning for mangelen gjennomgang prosessen; testkjøringer med ekte defekter demonstrere enn 500-800% gevinst i gjennomstrømning sammenlignet med andre metoder for defekt gjennomgang.
Artifact Free Metrology av Crosstalk Elimination
- To uavhengige, lukket XY og Z flexure skannere for utvalg og tips
- Flat og lineære XY scan på 100 mikrometer x 100 mikrometer med lave residual bue
- Ut av plan bevegelse på mindre enn 2 nm over hele frekvensområde
- Nøyaktig funksjonen målinger med bransjeledende gauge sigma
- Overlegen verktøy til verktøy matching
Lengre Tips Livet av True Non-Contact Mode
- 10 ganger større Z-scan båndbredde enn en piezotube
- 10 ganger eller mer spissen levetid for generelle formål og defekt bildebehandling
- Mindre tips slitasje for langvarig høy kvalitet og høy oppløsning
- Minimert prøve skade eller modifisering
- Immunitet mot parameter-avhengige resultater observert i tappe bildebehandling
Automatisk Defekt Review for Media og underlag
- Full automatisering resulterer i 500 ~ 800% gevinst i gjennomstrømning
- Tillater brukere å administrere flere verktøy samtidig
- Transfer KLA Tencor Candela feil kart til XE-HDM
- Automatisert undersøkelse skanning av defekter kartlagt av Candela
- Automatisert zoom-inn scan av spesifiserte defekter
- Automatisert profilering for bildebehandlet defekt typer
- Automatisert analyse av avbildes defekter