XE-HDM 是改革在 HDD 基体的方式缺陷，并且媒体被搜索，浏览，并且被分析的自动缺陷复核 AFM。 新的 XE-HDM 为缺陷复核进程极大增加处理量; 与缺陷复核比较，其他方法试验运行以实际缺陷展示在处理量上的 500 - 800% 收益。
由干扰清除的人工制品自由计量学
- 二独立，闭环 X - Y 和 Z 弯曲扫描程序范例和技巧的
- 100 与低残余的弓的 µm x 100 µm 平面和线性 X - Y 的扫描
- 出于平面行动少于 2 毫微米在整个扫描排列
- 与行业主导的测量仪斯格码的准确功能评定
- 对工具符合的优越工具
由真的没有接触的模式的更长的技巧寿命
- 10 次更大的 Z 扫描带宽比 piezotube
- 10 次或更长的技巧寿命的一般用途 & 缺陷想象
- 长时期的优质和高分辨率想象的较少技巧穿戴
- 减到最小的范例故障或修改
- 从在开发的想象观察的参数从属的结果的免疫
媒体和基体的自动缺陷复核
- 充分的自动化导致在处理量上的 500~800% 收益
- 允许用户同时管理几个工具
- 调用 KLA Tencor 坎德拉缺陷映射到 XE-HDM
- 坎德拉映射的缺陷自动化的调查扫描
- 指定的缺陷自动化的放大扫描
- 自动化的描出印象的缺陷类型
- 对印象的缺陷的自动分析