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公园系统 XE-HDM 自动缺陷复核基本强制显微镜

XE-HDM 是改革在 HDD 基体的方式缺陷,并且媒体被搜索,浏览,并且被分析的自动缺陷复核 AFM。 新的 XE-HDM 为缺陷复核进程极大增加处理量; 与缺陷复核比较,其他方法试验运行以实际缺陷展示在处理量上的 500 - 800% 收益。

由干扰清除的人工制品自由计量学

  • 二独立,闭环 X - Y 和 Z 弯曲扫描程序范例和技巧的
  • 100 与低残余的弓的 µm x 100 µm 平面和线性 X - Y 的扫描
  • 出于平面行动少于 2 毫微米在整个扫描排列
  • 与行业主导的测量仪斯格码的准确功能评定
  • 对工具符合的优越工具

由真的没有接触的模式的更长的技巧寿命

  • 10 次更大的 Z 扫描带宽比 piezotube
  • 10 次或更长的技巧寿命的一般用途 & 缺陷想象
  • 长时期的优质和高分辨率想象的较少技巧穿戴
  • 减到最小的范例故障或修改
  • 从在开发的想象观察的参数从属的结果的免疫

媒体和基体的自动缺陷复核

  • 充分的自动化导致在处理量上的 500~800% 收益
  • 允许用户同时管理几个工具
  • 调用 KLA Tencor 坎德拉缺陷映射到 XE-HDM
  • 坎德拉映射的缺陷自动化的调查扫描
  • 指定的缺陷自动化的放大扫描
  • 自动化的描出印象的缺陷类型
  • 对印象的缺陷的自动分析

Last Update: 15. July 2013 04:37

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