XE - HDM是一個自動的缺陷審查AFM革命性的硬盤基板和媒體的方式的缺陷是搜索，掃描，並分析。新的XE - HDM缺陷審查過程，顯著增加的吞吐量;測試與真正的缺陷超過500展示運行- 800％的吞吐量增益與缺陷審查的其他方法相比。
神器免費計量串音消除
- 兩個獨立的閉環 XY和Z軸彎曲樣品和針尖掃描儀
- 平面和直線 XY掃描 100微米× 100微米，低殘留弓
- 出平面小於 2納米在整個掃描範圍內的議案
- 準確的功能與業界領先的衡量六西格瑪測量
- 高級工具工具匹配
烙鐵頭壽命更長的真正的非接觸式模式
- 10次較大的Z -掃描帶寬比piezotube
- 10倍或通用缺陷成像的烙鐵頭壽命更長
- 長時間的高品質和高清晰度成像針尖的磨損少
- 最小樣品的損壞或修改
- 從參數依賴於攻成像觀測結果的豁免權
媒體和基板的自動缺陷回顧
- 全自動化的結果，在500〜800％的吞吐量增益
- 允許用戶同時管理幾個工具
- 轉讓KLA Tencor公司坎德拉缺陷地圖XE - HDM
- 坎德拉映射的缺陷自動調查掃描
- 自動變焦在指定的缺陷掃描
- 自動成像缺陷類型分析
- 自動分析成像缺陷