公園系統 XE-HDM 自動缺陷覆核基本強制顯微鏡

公園系統 XE-HDM 自動缺陷覆核基本強制顯微鏡

XE-HDM 是改革在 HDD 基體的方式缺陷,并且媒體被搜索,瀏覽,并且被分析的自動缺陷覆核 AFM。 新的 XE-HDM 為缺陷覆核進程極大增加處理量; 與缺陷覆核比較,其他方法試驗運行以實際缺陷展示在處理量上的 500 - 800% 收益。

由干擾清除的人工製品自由計量學

  • 二獨立,閉環 X - Y 和 Z 彎曲掃描程序範例和技巧的
  • 100 與低殘餘的弓的 µm x 100 µm 平面和線性 X - Y 的掃描
  • 出於平面行動少於 2 毫微米在整個掃描排列
  • 與行業主導的測量儀斯格碼的準確功能評定
  • 對工具符合的優越工具

由真的沒有接觸的模式的更長的技巧壽命

  • 10 次更大的 Z 掃描帶寬比 piezotube
  • 10 次或更長的技巧壽命的一般用途 & 缺陷想像
  • 長時期的優質和高分辨率想像的較少技巧穿戴
  • 減到最小的範例故障或修改
  • 從在開發的想像觀察的參數從屬的結果的免疫

媒體和基體的自動缺陷覆核

  • 充分的自動化導致在處理量上的 500~800% 收益
  • 允許用戶同時管理幾個工具
  • 調用 KLA Tencor 坎德拉缺陷映射到 XE-HDM
  • 坎德拉映射的缺陷自動化的調查掃描
  • 指定的缺陷自動化的放大掃描
  • 自動化的描出印象的缺陷類型
  • 對印象的缺陷的自動分析

Last Update: 15. July 2013 04:38

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