AtomKraft-Mikroskop Park Anlagen-XE-3DM

Park Anlagen hat das FLUGHANDBUCH mit der Einleitung des XE-3DM, der völlig automatisierten FLUGHANDBUCH-Anlage, die für Überhangs- und Grabenprofile bestimmt sind, der Seitenwandrauheit und der -darstellung und der Grenzwinkelmaße revolutioniert. Die eindeutige Auslegung des XE-3DM, ermöglicht durch entkoppeltes Abfrage-System X-Y- der XE-Serien und Z-, lässt Kennzeichnung von Unterschneidungsmerkmalen sowie von Oberflächen zu. Wenn Sie der Park-Anlagen verwenden, Richten Sie Berührungsfreien Modus, das XE-3DM kann zerstörungsfreie Darstellung von weichen Fotoresistzellen mit der gleichen Abtastgeschwindigkeit wie jede mögliche andere XE-Serien Plattform verwirklichen aus.

Zugriff der Hohen Auflösung zur Unterschneidung und zur Seitenwand

  • Unabhängiger Zwei, Regel-X-Y- und Z-Biegungsscanner für Probe und Spitze
  • Z-Scanner wird seitlich von -40 bis +40 Grad gekippt
  • Gebrauch von normalem hohem Längenverhältnis neigt sich für Darstellung der hohen Auflösung
  • X-Yscan von bis µm 100 µm x 100
  • Bis 25 um Z Arbeitsbereich durch hohen Kraftscanner

zerstörungsfreie CD und Seitenwand-Maße durch Wahren Berührungsfreien Modus

  • 10mal größere Z-Scan Bandweite als ein piezotube
  • Weniger Spitzenabnützung für verlängerte hochwertige und hochauflösende Darstellung
  • Herabgesetzter Beispielschaden oder -modifikation
  • Weiche Fotoresistzellen können abgebildetes nicht--destruktiv sein
  • Immunität von den Parameter-abhängigen Ergebnissen beobachtet in klopfender Darstellung

Beenden Sie Metrologie 3D der Seitenwand

  • Seitenwandrauheitsmaß
  • Grenzwinkelmaß von Seitenwänden
  • Kritische Abmessungsmaße von vertikalen Seitenwänden

Hoher Durchsatz-Inline-Automatisierung

  • Zulässige Stichprobengröße: 200/300mm Wafers
  • Automatische Datenerfassung und Analyse des Grabens, des Überhanges und der Unterschneidung Merkmale
  • Automatischer Spitzenaustausch (wahlweise)
  • Gerät Vorderseite-Block (EFEM) für Wafer Handhaben (wahlweise)
  • Cleanroomkompatibilität und Fernbedienungsschnittstelle

Last Update: 15. July 2013 04:42

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