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Microscopio Atómico de la Fuerza de los Sistemas XE-3DM del Parque

Los Sistemas del Parque han revolucionado el AFM con la introducción del XE-3DM, el sistema completo automatizado del AFM diseñado para los perfiles de la proyección y del foso, tosquedad y proyección de imagen del flanco, y las mediciones del ángulo crítico. El diseño único del XE-3DM, hecho posible por el sistema el XY de las XE-series y de Z desemparejado de la exploración, permite la caracterización de las características de la socava así como de las superficies superiores. Al usar Sistemas del Parque Verdad el modo Sin contacto, el XE-3DM puede realizar la proyección de imagen no destructiva de las estructuras suaves de la fotoprotección a la misma velocidad de exploración que cualquier otra plataforma de las XE-series.

Acceso De alta resolución a la Socava y al Flanco

  • Independiente Dos, analizadores XY y de Z a circuito cerrado de la flexión para la muestra y la punta
  • el Z-Analizador se inclina lateralmente a partir -40 a +40 grados
  • El Uso de la alta relación de aspecto normal inclina para la proyección de imagen de alta resolución
  • Exploración XY hasta 100 del µm del µm x 100
  • Rango de la exploración de Hasta 25 um Z por el alto analizador de la fuerza

Mediciones no destructivas del CD y del Flanco por Modo Sin contacto Verdadero

  • una anchura de banda de 10 veces más grande de la Z-Exploración que un piezotube
  • Menos desgaste de la punta para la proyección de imagen de alta calidad y de alta resolución prolongada
  • Daño o modificación Disminuido de la muestra
  • Las estructuras Suaves de la fotoprotección pueden ser reflejadas non-destructively
  • Inmunidad de los resultados parámetro-relacionados observados en proyección de imagen que golpea ligeramente

Termine la Metrología 3D del Flanco

  • Medición de la tosquedad del Flanco
  • Medición del ángulo Crítico de flancos
  • Mediciones Críticas de la dimensión de flancos verticales

Automatización En Línea de la Alta Producción

  • Tamaño de muestra Permitido: fulminantes de 200/300m m
  • De adquisición de datos Automático y análisis del foso, de la proyección, y de las Características de la socava
  • Intercambio Automático de la punta (opcional)
  • Módulo de la Parte Frontal del Equipo (EFEM) para la Manipulación del fulminante (opcional)
  • Compatibilidad del Recinto Limpio e interfaz teledirigido

Last Update: 15. July 2013 04:49

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