Park Systems Inc logo.

Système Robotisé des Systèmes NX-3DM AFM de Parc

Système Robotisé des Systèmes NX-3DM AFM de Parc

Les Systèmes de Parc a lancé la Suite novatrice du Parc 3DM, le système entièrement robotisé d'AFM établi pour la représentation à haute résolution de flanc, des profils de porte-à-faux et des mesures de cornière critique. Avec le système découplé breveté DE X/Y et de Z de lecture avec le Z-Balayeur incliné, il surmonte les défis des méthodes de normale et d'extrémité d'éruption dans l'analyse précise de flanc. En employant des Systèmes de Parc Véritable Mode™ De non contact, la Suite du Parc 3DM active la mesure non destructive des surfaces molles de vernis photosensible avec des extrémités élevées de rapport hauteur/largeur.

Un industriel entièrement robotisé AFM utilisant la technologie de NX

  • Chambre Propre compatible et entièrement robotisée pour l'analyse de mesure et de données au niveau de nanoscale
  • Le Véritable mode de Non-contact™ tient compte du ramassage de haute résolution et les données précises sans extrémité-échantillon endommagent, quelque chose qui pourrait autrement coûter te du temps précieux et de l'argent
  • La technologie de NX construit automatiquement une image topographique très précise et recueille des données dimensionnelles essentielles
  • L'Industrie aboutissant, Z-Détecteur à faible bruit travaille à une boucle autonome et bloquée pour réduire des erreurs en topographie (le « effet de fluage ")

Design principal Novateur pour des structures de dégagement et de porte-à-faux

  • l'orientation latérale distinctive Tête de z permet l'accès aux structures de dégagement et de porte-à-faux du vernis photosensible et de tout autre matériau industriel
  • Patented a découplé la fonction système DE X/Y et de Z de lecture avec le Z-Balayeur incliné, permettant à des utilisateurs de surmonter des défis communs dans l'analyse précise de flanc jointe avec des techniques de normale et d'extrémité d'éruption
  • La ligne de tranchée de Flanc profil, cornière critique, rugosité et cote critique peut tout être mesurée utilisant le NX-3DM
  • le mécanisme de inclinaison Tête de z permet l'accès aux flancs utilisant une extrémité ultra-tranchante saisir la mêmes haute résolution et définition qu'est gagné au-dessus du reste du matériau

Un Outil Fiable et Sans Joint de Mesure pour les matériaux 3D

  • Aucune préparation des échantillons (par exemple montage, coupe ou couche) n'est nécessaire pour atteindre la rugosité de flanc ou les mesures critiques de cote dans ce procédé
  • À l'aide de l'inclinaison Tête de z et du Véritable mode de Non-contact™, le NX-3DM tient compte de l'extrémité-préservation et du rassemblement de haute résolution des données de flanc

Applications

Profilage de Dégagement et de Porte-à-faux

Le NX-3DM permet le seul accès au porte-à-faux et les structures de dégagement du vernis photosensible et d'autres matériaux industriels, garantissant des utilisateurs reçoivent des données topographiques précises en travers de l'échantillon entier.

Des Images prises à trois cornières d'inclinaison différentes peuvent être piquées combiné ensemble automatiquement pour former une image 3D complète

Mesure Critique de Cote

Le Véritable Mode De non contact active l'instrument et sujet-préserver la mesure CD sans fidélité compromettante d'image.

Les lignes denses configuration de Vernis Photosensible est imagée avec 3D AFM, les correspondances de profil avec l'image de SEM très bien.

Mesure de Rugosité de Flanc

Le design de inclinaison principal nouveau de NX-3DM permet l'accès aux flancs utilisant une extrémité ultra tranchante réaliser les détails de haute résolution et dégagés de la zone et sa rugosité. L'accès de inclinaison principal novateur de laisux de design aux flancs utilisant l'extrémité ultra tranchante pour saisir la haute résolution et (plus défini) les détails de la rugosité de paroi latérale.

l'image de 3D AFM fournissent des profils de haute résolution pour le bas, le flanc et le haut de la ligne de vernis photosensible, qui peut être utilisée pour l'analyse de rugosité de LER/sidewall de la structure

Caractéristiques techniques du Parc 3DM

Système Novateur de Z-Échographie

Les nombreuses fonctionnalités uniques du NX-3DM sont rendues possibles en inclinant autonome le Z-Balayeur dans sa plate-forme Éliminée par Interférence brevetée, où des balayeurs DE X/Y et de Z sont entièrement découplés. Ce design permet à des utilisateurs d'atteindre les flancs ainsi que les structures verticaux de theundercut à un domaine des cornières. Contrairement aux systèmes avec des extrémités épanouies, ici le rapport hauteur/largeur élevé et les sondes de haute résolution peuvent être utilisés.

Balayeur DE X/Y Flexure-Guidé avec le Double Système Servo En Boucle Bloquée

100 le µm X balayeur DE X/Y de 100 µm comporte d'un 2D stade symétrique de flexure et des piles piézoélectriques de haut-force qui offrent le mouvement hautement orthogonal avec le mouvement minimum d'à l'extérieur-de-plan, ainsi que de la réactivité élevée nécessaire pour la lecture précise d'échantillon à l'échelle de nanomètre. Deux symétriques, les senseurs à faible bruit sont présents sur chaque axe du balayeur DE X/Y pour maintenir un haut niveau d'orthogonalité dans le cadre de grands domaines et tailles de l'échantillon de lecture. Le senseur secondaire rectifie et compense les erreurs de position non plan et non linéaires qui pourraient se produire utilisant un seul à un seul capteur.

Contrôle Automatique de Mesure pour la Performance Accrue

Le NX-3DM est équipé de logiciel robotisé qui rend le fonctionnement sans joint. Juste choisissez le programme préféré de mesure pour obtenir l'analyse multisite précise et automatique-avez optimisé des configurations pour des tarifs d'échographie, l'ajustement en porte-à-faux, le gain et des paramètres de point de consigne. L'interface du logiciel conviviale du Parc offre à des utilisateurs la souplesse de produire des sous-programmes personnalisés de fonctionnement de sorte qu'ils puissent tirer le meilleur du NX-3DM avec la plus petite quantité d'effort. Produire des sous-programmes neufs est simple. En moyenne cela prend seulement 10 mn pour produire un sous-programme neuf et moins de des cinq pour modifier existant.

Principal Détecteur du Faible Bruit Z d'Industrie

AFMs de Parc des Systèmes sont équipés de détecteurs hautement pertinents du faible bruit Z dans le domaine, avec un bruit de 0,2 Å au-dessus de grande largeur de bande. Ceci ne produit la topographie hautement précise d'échantillon, aucun besoin d'étalonnage et aucun overshoot d'arête. Juste un des nombreuses voies le Parc NX-3DM épargne le temps et offre de meilleures données.

Topographie Précise d'Échantillon Mesurée par le Détecteur À Faible Bruit de Z

Aucun artefact par le balayeur d'AFM en topographie en boucle bloquée à faible bruit

  • A Besoin d'étalonnage, exécuté seulement une fois à l'usine
  • Signe à faible bruit de détecteur des Utilisations Z pour la topographie
  • N'a aucun overshoot d'arête aux bords d'attaque et de trainée
  • A le bruit faible de détecteur de Z de 0,02 nanomètres au-dessus de grande largeur de bande

L'Étage Le plus à faible bruit de l'Industrie

Pour trouver les plus petites caractéristiques techniques témoin, et l'image les surfaces les plus plates, Parc a conçu le cahier des charges de l'étage le plus à faible bruit de l'industrie de < 0,5 Å. Les données d'étage de bruit sont déterminées utilisant « une échographie zéro. » Le bruit de système est mesuré avec l'encorbellement en contact avec la surface témoin à un unique dans les conditions suivantes :

  • 0,5 modes de gain en contact
  • 0 nanomètres X 0 échographies de nanomètre, restant à une remarque
  • 256 x 256 pixels

Répétabilité et Reproductibilité d'Outil

En raison de la taille toujours décroissante des composants, les constructeurs exigent maintenant le taux maximum de contrôle qualité. Le Parc AFM peut offrir 1 sigma d'outil de moins de 1 Å.

Corrélation d'Outil-à-Outil

En Raison de la plate-forme novatrice de l'AFM du Parc conçue pour la métrologie industrielle, le Parc NX-3DM marquera avec n'importe quel Parc actuel AFMs qui ont été ancien utilisés pour l'inspection, la fabrication, l'analyse ou la recherche.

Options

Un système tout-en-un révolutionnaire pour la Métrologie 3D

Échange Automatique d'Extrémité (ATX)

L'ATX localise automatiquement des extrémités près de la reconnaissance des formes et emploie une méthode magnétique nouvelle pour débloquer une extrémité utilisée et pour capter une extrémité neuve, avec des 99,9% taux de succès stupéfiant. La tache laser alors est automatiquement optimisée le long du X et de l'Axe des y par les molettes positionnantes motorisées.

Dérouleur Automatique de Disque (EFEM ou FOUP)

Le NX-3DM peut être configuré pour un domaine des dérouleurs automatiques de disque, tels que FOUP et EFEM. Les utilisateurs traitants à haute précision et robotiques de cautionnements de bras obtiennent des mesures rapides et fiables de disque chaque fois.

Système d'Ionisation pour une lecture plus stable

Stationnez le système novateur de l'ionisation des Systèmes rapidement et éliminez effectivement les frais électrostatiques dans l'environnement de témoin. Puisque le système toujours produit et met à jour le reste adapté des ions positifs et négatifs, il peut développer un environnement très stablement chargé avec la contamination négligeable à partir de la zone environnante et réduire le risque de charge électrostatique accidentelle pendant traiter d'échantillon.

Caractéristiques

Caractéristiques du Parc NX-3DM

Cahier Des Charges de Système
Stade DE X/Y Motorisé 200 millimètres : courses jusqu'à 275 millimètres de × 200 millimètres, 0,5 définitions de µm
300 millimètres : courses jusqu'à 400 millimètres de × 300 millimètres, 0,5 définitions de µm, < 1 répétabilité de µm
Stade Motorisé de Foyer course de 9 millimètres Z pour le bloc optique de sur-axe
Chaîne Motorisée de Cornière -19 degrés et +19 degrés
-38 degrés et +38 degrés
de < répétabilité de cornière 0,5 degrés
Stade Motorisé de Z course de 27 millimètres Z
0,08 définitions de µm
< 1 répétabilité de µm
Balayeur de Z Chaîne de Balayeur de Z : 15 µm de µm (grand mode) 2 (petit mode)
Définition de Balayeur de Z : 0,016 nanomètres (grand mode) 0,002 nanomètres (petit mode)
Étage de Bruit de Balayeur de Z : < 0,05 nanomètres
Bruit de Détecteur de Balayeur de Z : 0,02 nanomètres @ 1 kilohertz
Reconnaissance des Formes de COGNEX la configuration alignent la définition de 1/4 pixel
Performances de Balayeur
Balayeur DE X/Y balayeur DE X/Y de flexure d'Unique-Module avec le contrôle en boucle bloquée
100 µm du × 100 de µm (Grand mode)
50 µm du × 50 de µm (mode Moyen)
10 µm du × 10 de µm (Petit mode)
Définition DE X/Y de Balayeur 0,28 nanomètres (Grand mode)
0,03 nanomètres (Petit mode)
Conditions d'Installation
Température ambiante (Tenez-vous prêt) 10 °C du ~ 40 de °C
Température ambiante (Fonctionnement) 18 °C du ~ 24 de °C
Humidité 30% à 60% (ne pas se condenser)
Niveau de Vibration d'Étage VC-E (3 µm/sec)
Bruit Acoustique En-dessous du DB 65
Système Pneumatique Aspirateur : -80 kPa
CDA (ou N)2 : 0,7 Avion de patrouille maritime
Grade de Bloc d'Alimentation 208V - 240 V, monophasé, 15 A (maximum)
Consommation d'Énergie Totale 2 KILOWATTS (particuliers)
Résistance Au Sol En-dessous de 100 ohms
Cotes et Grammage
Système de 200 millimètres 1500 millimètres (w) × 980 millimètres (d) X 2050 millimètres (h)
sans EFEM, 1020 kilogrammes approximativement (Module de Contrôle y compris)

2465 millimètres (w) × 1000 millimètres (d) X 2050 millimètres (h)
avec EFEM, 1230 kilogrammes approximativement (Module de Contrôle y compris)
Hauteur de Plafond 2500 millimètres ou plus
Aire De Travail de Téléphoniste 3300 millimètres (w) X 2300 millimètres (d), Minimum
Système de 300 millimètres 1840 millimètres (w) × 1170 millimètres (d) X 2050 millimètres (h)
sans EFEM, 1320 kilogrammes approximativement (Module de Contrôle y compris)

3260 millimètres (w) × 1350 millimètres (d) X 2050 millimètres (h)
avec EFEM, 2120 kilogrammes approximativement (Module de Contrôle y compris)
Hauteur de Plafond 2500 millimètres ou plus
Aire De Travail de Téléphoniste 4540 millimètres (w) X 2850 millimètres (d), Minimum

Disposition d'installation du Parc NX-3DM 300mm

Other Equipment by this Supplier