I Sistemi della Sosta ha rivoluzionato il AFM con l'introduzione del XE-3DM, il sistema completamente automatizzato del AFM progettato per i profili della fossa e di sporgenza, la rugosità e la rappresentazione del muro laterale e misure di angolo critico. La progettazione unica del XE-3DM, permessa dal sistema il DI X-Y delle XE-serie e di Z disaccoppiato di scansione, tiene conto la caratterizzazione delle funzionalità del taglio come pure delle superfici superiori. Nel usando i Sistemi della Sosta Vero il modo Senza contatto, il XE-3DM può realizzare la rappresentazione non distruttiva delle strutture molli del photoresist alla stessa velocità di scansione di qualunque altra piattaforma di XE-serie.
Access Di alta risoluzione Da Tagliare e Muro Laterale
- Indipendente Due, scanner a circuito chiuso di Z e DI X-Y di flessione per il campione ed il suggerimento
- lo Z-Scanner è inclinato lateralmente -40 - +40 gradi
- L'Uso di alto allungamento normale fornisce di punta per la rappresentazione di alta risoluzione
- Scansione DI X-Y fino a 100 del µm del µm x 100
- Intervallo di scansione di Fino a 25 um Z dall'alto scanner della forza
Misure non distruttive del Muro Laterale e del CD dal Vero Modo Senza contatto
- più grande di 10 volte larghezza di banda di Z-Scansione che un piezotube
- Meno usura del suggerimento per rappresentazione di alta qualità ed ad alta definizione prolungata
- Danno o modifica Minimizzato del campione
- Le strutture Molli del photoresist possono essere non-distruttivo imaged
- Immunità dai risultati parametro-dipendenti osservati nella rappresentazione di spillatura
Completi la Metrologia 3D del Muro Laterale
- Misura di rugosità del Muro Laterale
- Misura di angolo Critico dei muri laterali
- Misure Critiche di dimensione dei muri laterali verticali
Automazione In-linea di Alta Capacità Di Lavorazione
- Dimensione del campione Permissibile: wafer di 200/300mm
- Dell'acquisizione dei dati Automatico ed analisi della fossa, della sporgenza e delle Funzionalità del taglio
- Scambio Automatico del suggerimento (facoltativo)
- Modulo della Parte Frontale della Strumentazione (EFEM) per la Manipolazione del wafer (facoltativa)
- Compatibilità del Locale Senza Polvere ed interfaccia del telecomando