Microscopio Atomico della Forza dei Sistemi XE-3DM della Sosta

I Sistemi della Sosta ha rivoluzionato il AFM con l'introduzione del XE-3DM, il sistema completamente automatizzato del AFM progettato per i profili della fossa e di sporgenza, la rugosità e la rappresentazione del muro laterale e misure di angolo critico. La progettazione unica del XE-3DM, permessa dal sistema il DI X-Y delle XE-serie e di Z disaccoppiato di scansione, tiene conto la caratterizzazione delle funzionalità del taglio come pure delle superfici superiori. Nel usando i Sistemi della Sosta Vero il modo Senza contatto, il XE-3DM può realizzare la rappresentazione non distruttiva delle strutture molli del photoresist alla stessa velocità di scansione di qualunque altra piattaforma di XE-serie.

Access Di alta risoluzione Da Tagliare e Muro Laterale

  • Indipendente Due, scanner a circuito chiuso di Z e DI X-Y di flessione per il campione ed il suggerimento
  • lo Z-Scanner è inclinato lateralmente -40 - +40 gradi
  • L'Uso di alto allungamento normale fornisce di punta per la rappresentazione di alta risoluzione
  • Scansione DI X-Y fino a 100 del µm del µm x 100
  • Intervallo di scansione di Fino a 25 um Z dall'alto scanner della forza

Misure non distruttive del Muro Laterale e del CD dal Vero Modo Senza contatto

  • più grande di 10 volte larghezza di banda di Z-Scansione che un piezotube
  • Meno usura del suggerimento per rappresentazione di alta qualità ed ad alta definizione prolungata
  • Danno o modifica Minimizzato del campione
  • Le strutture Molli del photoresist possono essere non-distruttivo imaged
  • Immunità dai risultati parametro-dipendenti osservati nella rappresentazione di spillatura

Completi la Metrologia 3D del Muro Laterale

  • Misura di rugosità del Muro Laterale
  • Misura di angolo Critico dei muri laterali
  • Misure Critiche di dimensione dei muri laterali verticali

Automazione In-linea di Alta Capacità Di Lavorazione

  • Dimensione del campione Permissibile: wafer di 200/300mm
  • Dell'acquisizione dei dati Automatico ed analisi della fossa, della sporgenza e delle Funzionalità del taglio
  • Scambio Automatico del suggerimento (facoltativo)
  • Modulo della Parte Frontale della Strumentazione (EFEM) per la Manipolazione del wafer (facoltativa)
  • Compatibilità del Locale Senza Polvere ed interfaccia del telecomando

Last Update: 15. July 2013 04:43

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment