Systemen xe-3DM van het Park de AtoomMicroscoop van de Kracht

Systemen xe-3DM van het Park de AtoomMicroscoop van de Kracht

De Systemen van het Park heeft AFM met de introductie van xe-3DM hervormd, het volledig geautomatiseerde systeem AFM die voor overhangend gedeelte en geulprofielen wordt ontworpen, zijwandruwheid en weergave, en kritieke hoekmetingen. Het unieke ontwerp van xe-3DM, dat mogelijk door het de XE-Reeksen losgekoppelde X-Y en het aftastensysteem van Z wordt gemaakt, staat voor karakterisering van kapsnedeeigenschappen evenals hoogste oppervlakten toe. Bij het gebruiken van wijze van het niet-Contact van de Systemen van het Park de Ware, kunnen xe-3DM niet destructieve weergave van zachte photoresist structuren bij de zelfde aftastensnelheid realiseren zoals een ander XE-Reeksen platform.

De Toegang van de Hoge Resolutie tot Kapsnede en Zijwand

  • X-Y onafhankelijke Twee, closed-loop en de buigingsscanners van Z voor steekproef en uiteinde
  • De z-Scanner is zijdelings overgeheld van -40 tot +40 graden
  • Gebruik van normale hoge aspectverhouding uiteinden voor hoge resolutieweergave
  • X-Y aftasten van zelfs 100 µm x 100 µm
  • De waaier van het Tot 25 umZ aftasten door hoge krachtscanner

niet destructieve CD en van de Zijwand Metingen door de Ware Wijze van het niet-Contact

  • 10 keer grotere z-Aftasten bandbreedte dan een piezotube
  • Minder uiteindeslijtage voor verlengde hoogstaande en high-resolution weergave
  • Geminimaliseerde steekproefschade of wijziging
  • De Zachte photoresist structuren kunnen niet-destructief imaged zijn
  • Immuniteit van parameter-afhankelijke resultaten die in het onttrekken van weergave worden waargenomen

Volledige 3D Metrologie van Zijwand

  • De ruwheidsmeting van de Zijwand
  • Kritieke hoekmeting van zijwanden
  • Kritieke afmetingsmetingen van verticale zijwanden

De Hoge Gealigneerde Automatisering van de Productie

  • Toelaatbare steekproefgrootte: 200/300mm wafeltjes
  • Automatische gegevens aanwinst en analyse van geul, overhangend gedeelte, en ondergraven Eigenschappen
  • Automatische (facultatieve) uiteindeuitwisseling
  • De Module van het VoorEind van de Apparatuur (EFEM) voor wafeltje (facultatieve) Behandeling
  • Cleanroom verenigbaarheid en afstandsbedieninginterface

Last Update: 15. July 2013 04:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier