Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Systemen xe-3DM van het Park de AtoomMicroscoop van de Kracht

De Systemen van het Park heeft AFM met de introductie van xe-3DM hervormd, het volledig geautomatiseerde systeem AFM die voor overhangend gedeelte en geulprofielen wordt ontworpen, zijwandruwheid en weergave, en kritieke hoekmetingen. Het unieke ontwerp van xe-3DM, dat mogelijk door het de XE-Reeksen losgekoppelde X-Y en het aftastensysteem van Z wordt gemaakt, staat voor karakterisering van kapsnedeeigenschappen evenals hoogste oppervlakten toe. Bij het gebruiken van wijze van het niet-Contact van de Systemen van het Park de Ware, kunnen xe-3DM niet destructieve weergave van zachte photoresist structuren bij de zelfde aftastensnelheid realiseren zoals een ander XE-Reeksen platform.

De Toegang van de Hoge Resolutie tot Kapsnede en Zijwand

  • X-Y onafhankelijke Twee, closed-loop en de buigingsscanners van Z voor steekproef en uiteinde
  • De z-Scanner is zijdelings overgeheld van -40 tot +40 graden
  • Gebruik van normale hoge aspectverhouding uiteinden voor hoge resolutieweergave
  • X-Y aftasten van zelfs 100 µm x 100 µm
  • De waaier van het Tot 25 umZ aftasten door hoge krachtscanner

niet destructieve CD en van de Zijwand Metingen door de Ware Wijze van het niet-Contact

  • 10 keer grotere z-Aftasten bandbreedte dan een piezotube
  • Minder uiteindeslijtage voor verlengde hoogstaande en high-resolution weergave
  • Geminimaliseerde steekproefschade of wijziging
  • De Zachte photoresist structuren kunnen niet-destructief imaged zijn
  • Immuniteit van parameter-afhankelijke resultaten die in het onttrekken van weergave worden waargenomen

Volledige 3D Metrologie van Zijwand

  • De ruwheidsmeting van de Zijwand
  • Kritieke hoekmeting van zijwanden
  • Kritieke afmetingsmetingen van verticale zijwanden

De Hoge Gealigneerde Automatisering van de Productie

  • Toelaatbare steekproefgrootte: 200/300mm wafeltjes
  • Automatische gegevens aanwinst en analyse van geul, overhangend gedeelte, en ondergraven Eigenschappen
  • Automatische (facultatieve) uiteindeuitwisseling
  • De Module van het VoorEind van de Apparatuur (EFEM) voor wafeltje (facultatieve) Behandeling
  • Cleanroom verenigbaarheid en afstandsbedieninginterface

Last Update: 15. July 2013 04:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment