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Microscópio Atômico da Força dos Sistemas XE-3DM do Parque

Os Sistemas do Parque revolucionaram o AFM com a introdução do XE-3DM, o sistema inteiramente automatizado do AFM projetado para perfis da saliência e da trincheira, aspereza e imagem lactente do sidewall, e medidas do ângulo crítico. O projecto original do XE-3DM, tornado possível pelo sistema decuplado o XY das XE-séries e de Z da exploração, permite a caracterização de características assim como de superfícies superiores vendidas por menos. Em usar Sistemas do Parque Rectifique o modo do Não-Contacto, o XE-3DM pode realizar a imagem lactente não-destrutiva de estruturas macias do fotoresistente na mesma velocidade de exploração que toda a outra plataforma das XE-séries.

Acesso De alta resolução a Vender por Menos e Sidewall

  • Independente Dois, circuito fechado XY e varredores do flexure de Z para a amostra e a ponta
  • o Z-Varredor é inclinado lateralmente -40 a +40 graus
  • O Uso do prolongamento alto normal derruba para a imagem lactente de alta resolução
  • Varredura XY até 100 do µm do µm x 100
  • Escala da varredura de Até 25 um Z pelo varredor alto da força

não - Medidas destrutivas do CD e do Sidewall pelo Modo Verdadeiro do Não-Contacto

  • largura de faixa de 10 vezes maior da Z-Varredura do que um piezotube
  • Menos desgaste da ponta para a imagem lactente de alta qualidade e de alta resolução prolongada
  • Dano ou alteração Minimizada da amostra
  • As estruturas Macias do fotoresistente podem ser imaged non-destructively
  • Imunidade dos resultados parâmetro-dependentes observados na imagem lactente de batida

Termine a Metrologia 3D do Sidewall

  • Medida da aspereza do Sidewall
  • Medida do ângulo Crítico dos sidewalls
  • Medidas Críticas da dimensão de sidewalls verticais

Automatização Inline da Produção Alta

  • Tamanho da amostra Permissível: bolachas de 200/300mm
  • Por aquisição de dados Automático e análise da trincheira, da saliência, e de Características vendidas por menos
  • Troca Automática da ponta (opcional)
  • Módulo da Parte Frontal do Equipamento (EFEM) para a Manipulação da bolacha (opcional)
  • Compatibilidade da Sala De Limpeza e relação do controlo a distância

Last Update: 15. July 2013 04:47

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