Os Sistemas do Parque revolucionaram o AFM com a introdução do XE-3DM, o sistema inteiramente automatizado do AFM projetado para perfis da saliência e da trincheira, aspereza e imagem lactente do sidewall, e medidas do ângulo crítico. O projecto original do XE-3DM, tornado possível pelo sistema decuplado o XY das XE-séries e de Z da exploração, permite a caracterização de características assim como de superfícies superiores vendidas por menos. Em usar Sistemas do Parque Rectifique o modo do Não-Contacto, o XE-3DM pode realizar a imagem lactente não-destrutiva de estruturas macias do fotoresistente na mesma velocidade de exploração que toda a outra plataforma das XE-séries.
Acesso De alta resolução a Vender por Menos e Sidewall
- Independente Dois, circuito fechado XY e varredores do flexure de Z para a amostra e a ponta
- o Z-Varredor é inclinado lateralmente -40 a +40 graus
- O Uso do prolongamento alto normal derruba para a imagem lactente de alta resolução
- Varredura XY até 100 do µm do µm x 100
- Escala da varredura de Até 25 um Z pelo varredor alto da força
não - Medidas destrutivas do CD e do Sidewall pelo Modo Verdadeiro do Não-Contacto
- largura de faixa de 10 vezes maior da Z-Varredura do que um piezotube
- Menos desgaste da ponta para a imagem lactente de alta qualidade e de alta resolução prolongada
- Dano ou alteração Minimizada da amostra
- As estruturas Macias do fotoresistente podem ser imaged non-destructively
- Imunidade dos resultados parâmetro-dependentes observados na imagem lactente de batida
Termine a Metrologia 3D do Sidewall
- Medida da aspereza do Sidewall
- Medida do ângulo Crítico dos sidewalls
- Medidas Críticas da dimensão de sidewalls verticais
Automatização Inline da Produção Alta
- Tamanho da amostra Permissível: bolachas de 200/300mm
- Por aquisição de dados Automático e análise da trincheira, da saliência, e de Características vendidas por menos
- Troca Automática da ponta (opcional)
- Módulo da Parte Frontal do Equipamento (EFEM) para a Manipulação da bolacha (opcional)
- Compatibilidade da Sala De Limpeza e relação do controlo a distância