Микроскоп Усилия Систем XE-3DM Парка Атомный

Микроскоп Усилия Систем XE-3DM Парка Атомный

Системы Парка революционизировали AFM с введением XE-3DM, польностью автоматизированной системы AFM конструированной для профилей свисания и шанца, шершавости и воображения стенки, и измерений предельнsq угол. Уникально конструкция XE-3DM, деланная возможным системой XY XE-серий decoupled и Z скеннирования, позволяет для характеризации характеристик подреза так же, как верхних поверхностей. В использовании Систем Парка True Внеконтактный режим, XE-3DM смогите осуществить воображение без разрушения мягких структур фоторезиста на такой же скорости развертки как любая другая платформа XE-серий.

Высокий Доступ Разрешения к Подрезу и Стенке

  • Независимый 2, короткозамкнутый виток XY и блоки развертки сгибания Z для образца и подсказки
  • Z-Блок развертки опрокинутое косое от -40 до +40 градусов
  • Польза нормального высокого коэффициента сжатия наклоняет для высокого воображения разрешения
  • XY развертка до 100 µm µm x 100
  • Ряд развертки До 25 um Z высоким блоком развертки усилия

Измерения без разрушения КОМПАКТНОГО ДИСКА и Стенки Истинным Внеконтактным Режимом

  • ширина полосы частот Z-Развертки 10 времен более большая чем piezotube
  • Меньше износа подсказки для увеличиваемого воображения высокомарочных и высок-разрешения
  • Уменьшенные повреждение или изменение образца
  • Мягкие структуры фоторезиста могут быть imaged non-destructively
  • Невосприимчивость от параметр-зависимых результатов наблюдаемых в выстукивая воображении

Завершите Метрологию 3D Стенки

  • Измерение шершавости Стенки
  • Измерение Предельнsq угол стенок
  • Критические измерения размера вертикальных стенок

Автоматизация Высокого Объём Встроенная

  • Позволяемый размер выборки: вафли 200/300mm
  • Автоматические сбор информации и анализ шанца, свисания, и Характеристик подреза
  • Автоматический обмен подсказки (опционный)
  • Модуль Начала Оборудования (EFEM) для Регулировать вафли (опционный)
  • Совместимость Чистой Комнаты и интерфейс дистанционного управления

Last Update: 15. July 2013 04:48

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier