Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Микроскоп Усилия Систем XE-3DM Парка Атомный

Системы Парка революционизировали AFM с введением XE-3DM, польностью автоматизированной системы AFM конструированной для профилей свисания и шанца, шершавости и воображения стенки, и измерений предельнsq угол. Уникально конструкция XE-3DM, деланная возможным системой XY XE-серий decoupled и Z скеннирования, позволяет для характеризации характеристик подреза так же, как верхних поверхностей. В использовании Систем Парка True Внеконтактный режим, XE-3DM смогите осуществить воображение без разрушения мягких структур фоторезиста на такой же скорости развертки как любая другая платформа XE-серий.

Высокий Доступ Разрешения к Подрезу и Стенке

  • Независимый 2, короткозамкнутый виток XY и блоки развертки сгибания Z для образца и подсказки
  • Z-Блок развертки опрокинутое косое от -40 до +40 градусов
  • Польза нормального высокого коэффициента сжатия наклоняет для высокого воображения разрешения
  • XY развертка до 100 µm µm x 100
  • Ряд развертки До 25 um Z высоким блоком развертки усилия

Измерения без разрушения КОМПАКТНОГО ДИСКА и Стенки Истинным Внеконтактным Режимом

  • ширина полосы частот Z-Развертки 10 времен более большая чем piezotube
  • Меньше износа подсказки для увеличиваемого воображения высокомарочных и высок-разрешения
  • Уменьшенные повреждение или изменение образца
  • Мягкие структуры фоторезиста могут быть imaged non-destructively
  • Невосприимчивость от параметр-зависимых результатов наблюдаемых в выстукивая воображении

Завершите Метрологию 3D Стенки

  • Измерение шершавости Стенки
  • Измерение Предельнsq угол стенок
  • Критические измерения размера вертикальных стенок

Автоматизация Высокого Объём Встроенная

  • Позволяемый размер выборки: вафли 200/300mm
  • Автоматические сбор информации и анализ шанца, свисания, и Характеристик подреза
  • Автоматический обмен подсказки (опционный)
  • Модуль Начала Оборудования (EFEM) для Регулировать вафли (опционный)
  • Совместимость Чистой Комнаты и интерфейс дистанционного управления

Last Update: 15. July 2013 04:48

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment