Parkera det Atom- StyrkaMikroskopet för System XE-3DM

Parkera det Atom- StyrkaMikroskopet för System XE-3DM

Parkera System har revolutionerat AFMEN med inledningen av XEN-3DM, profilerar det fullständigt automatiserade AFM-systemet som planläggs för overhang och dike, sidoväggroughness och att avbilda, och kritiskt meta mätningar. Den unika designen av XEN-3DM som göras möjligheten av XE-seriernas decoupled XY och Z-scanningsystemet, låter för karakterisering av underpris- särdrag såväl som bästa ytbehandlar. I att använda, Parkera Systems det Riktiga Non-Kontakt funktionsläget, XEN-3DM kan realisera att oskadligt avbilda av mjuk photoresist strukturerar på den samma scanningen rusar som någon annan XE-serier plattform.

KickUpplösning Tar Fram för att Bjuda Under och Sidoväggen

  • Vilde Två, stängd-kretsar XY, och Z-flexurebildläsare för tar prov och tippar
  • Z-Bildläsaren vippas på från sidan från -40 till +40 grader
  • Bruk av förhållandet för det normalakickaspekten tippar för att avbilda för kickupplösning
  • XY bildläsning av upp till 100 µm för µm x 100
  • Upp till spänner bildläsningen för 25 um Z vid kickstyrkabildläsaren

oskadliga CD- och SidoväggMätningar vid Riktigt Non-Kontakt Funktionsläge

  • större Z-Bildläsning för 10 tider bandbredd än en piezotube
  • Mindre spets ha på sig för långvarigt avbilda högkvalitativt och med hög upplösning
  • Minimized tar prov skada eller ändring
  • Mjuk photoresist strukturerar kan avbildas non-destructively
  • Immunitet från parameter-anhörig resultat som observeras i knackande lätt på avbilda

Avsluta Metrology 3D av Sidoväggen

  • Sidoväggroughnessmätning
  • Kritiskt meta mätningen av sidoväggar
  • Kritiskt dimensionera mätningar av lodlinjesidoväggar

Inline Automation för KickGenomgång

  • Tillåtet ta prov storleksanpassar: 200/300mm rån
  • Automatisk dataförvärv och analys av diket, overhang och underskruvSärdrag
  • Automatiskt (valfritt) spetsutbyte,
  • Utrustning Beklär Avslutar Enheten (EFEM) för (valfritt) rånBruk,
  • Cleanroomförenlighet och fjärrkontroll har kontakt

Last Update: 15. July 2013 04:50

Other Equipment by this Supplier