Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Parkera det Atom- StyrkaMikroskopet för System XE-3DM

Parkera System har revolutionerat AFMEN med inledningen av XEN-3DM, profilerar det fullständigt automatiserade AFM-systemet som planläggs för overhang och dike, sidoväggroughness och att avbilda, och kritiskt meta mätningar. Den unika designen av XEN-3DM som göras möjligheten av XE-seriernas decoupled XY och Z-scanningsystemet, låter för karakterisering av underpris- särdrag såväl som bästa ytbehandlar. I att använda, Parkera Systems det Riktiga Non-Kontakt funktionsläget, XEN-3DM kan realisera att oskadligt avbilda av mjuk photoresist strukturerar på den samma scanningen rusar som någon annan XE-serier plattform.

KickUpplösning Tar Fram för att Bjuda Under och Sidoväggen

  • Vilde Två, stängd-kretsar XY, och Z-flexurebildläsare för tar prov och tippar
  • Z-Bildläsaren vippas på från sidan från -40 till +40 grader
  • Bruk av förhållandet för det normalakickaspekten tippar för att avbilda för kickupplösning
  • XY bildläsning av upp till 100 µm för µm x 100
  • Upp till spänner bildläsningen för 25 um Z vid kickstyrkabildläsaren

oskadliga CD- och SidoväggMätningar vid Riktigt Non-Kontakt Funktionsläge

  • större Z-Bildläsning för 10 tider bandbredd än en piezotube
  • Mindre spets ha på sig för långvarigt avbilda högkvalitativt och med hög upplösning
  • Minimized tar prov skada eller ändring
  • Mjuk photoresist strukturerar kan avbildas non-destructively
  • Immunitet från parameter-anhörig resultat som observeras i knackande lätt på avbilda

Avsluta Metrology 3D av Sidoväggen

  • Sidoväggroughnessmätning
  • Kritiskt meta mätningen av sidoväggar
  • Kritiskt dimensionera mätningar av lodlinjesidoväggar

Inline Automation för KickGenomgång

  • Tillåtet ta prov storleksanpassar: 200/300mm rån
  • Automatisk dataförvärv och analys av diket, overhang och underskruvSärdrag
  • Automatiskt (valfritt) spetsutbyte,
  • Utrustning Beklär Avslutar Enheten (EFEM) för (valfritt) rånBruk,
  • Cleanroomförenlighet och fjärrkontroll har kontakt

Last Update: 15. July 2013 04:50

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment