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公园系统 NX-3DM 自动化的 AFM 系统

公园系统 NX-3DM 自动化的 AFM 系统

公园系统生成了创新公园 3DM 串联、为高分辨率侧壁想象建立的充分地自动化的 AFM 系统,突出物配置文件和临界角评定。 与被掀动的 Z 扫描程序的给予专利的被分离的 X - Y 和 Z 扫描系统,它解决正常和火光技巧方法的挑战在准确侧壁分析的。 在使用公园系统请配齐没有接触的 Mode™,公园 3DM 串联启用软的光致抗蚀剂表面的非破坏性的评定与高长宽比技巧的。

使用 NX 技术的充分地自动化的行业 AFM

  • 为评定和数据分析兼容和充分地自动化的洁净室在 nanoscale 级别
  • 真的非contact™模式允许收集的高分辨率,并且没有技巧范例的准确数据损坏,可能否则花您重要时刻和钱的事
  • NX 技术自动地修建一个非常准确地形学图象并且收集关键的尺寸数据
  • 导致的行业,低噪声 Z 探测器在一个自动,闭合电路在地势 (“蠕动作用 ") 方面运作减少错误

咬边和突出物结构的创新顶头设计

  • Z 领袖的特别斜向一边的取向允许对光致抗蚀剂和其他行业材料咬边和突出物结构的存取
  • Patented 与被掀动的 Z 扫描程序一起分离了 X - Y 和 Z 扫描系统作用,允许用户解决在与正常和火光技巧技术链接的准确侧壁分析的公用挑战
  • 使用 NX-3DM,侧壁沟槽线路配置文件、临界角、坎坷和重要维数可能所有被评定
  • 掀动结构的 Z 领袖允许对侧壁的存取使用一个超锋利的技巧获取高分辨率和定义和一样被获取在材料的其余

为 3D 材料的一个可靠,无缝的评定工具

  • 范例准备 (即挂接、剪切或者涂层) 不是需要的获得侧壁坎坷或重要维数评定在此进程中
  • 通过使用掀动的Z 领袖和真的非contact™模式, NX-3DM 允许技巧保留和侧壁数据高分辨率收集

应用

咬边和突出物描出

NX-3DM 允许对突出物的唯一存取,并且光致抗蚀剂和其他行业材料咬边结构,保证用户接受在整个范例间的准确地形学数据。

图象被采取在三个不同倾斜角可以被缝自动地一起结合形成一个完全 3D 图象

重要维数评定

真的没有接触的模式启用仪器和主题保留 CD 的评定,不用影响的图象保真度。

光致抗蚀剂密集的线路模式很好是印象的与 3D AFM,与 SEM 图象的配置文件符合。

侧壁坎坷评定

NX-3DM 新颖的顶头掀动的设计允许对侧壁的存取使用一个超锋利的技巧达到区的高分辨率,清楚的详细资料和其坎坷。 对侧壁的创新顶头掀动的设计许可证存取使用超获取锋利的技巧侧面墙坎坷的高分辨率和 (定义) 详细资料。

3D AFM 图象为底层、光致抗蚀剂线路的侧壁和顶层提供高分辨率配置文件,可以为 LER/sidewall 对这个结构的坎坷分析使用

公园 3DM 功能

创新 Z 扫描系统

NX-3DM 的许多唯一功能通过自动掀动在其给予专利的干扰被消灭的平台的 Z 扫描程序使成为可能, X - Y 和 Z 扫描程序充分地被分离。 此设计允许用户存取垂直的侧壁以及 theundercut 结构在角度的范围。 与与飘动的技巧的系统对比,这里可以使用高长宽比和高分辨率探测。

有闭环双重伺服系统的弯曲引导的 X - Y 的扫描程序

100 µm x 100 µm X - Y 的扫描程序提供高度与最小的外飞机行动的正交移动的包括对称第 2 个弯曲阶段和高强制压电栈,以及高快速响应必要为准确的范例扫描在毫微米缩放比例。 二对称,低噪声传感器是存在 X - Y 的扫描程序的每个轴保留高级正交性在大扫描范围和样本大小中。 附属传感器更正并且补尝也许发生使用单独一个唯一传感器的非平面和非线性位置的错误。

增加的效率的自动评定控制

NX-3DM 带有使运算无缝的自动化的软件。 请选择首选评定程序得到准确的多位置的分析并且自动优选了扫瞄速率,悬臂式调整,收益和调整点参数的设置。 公园的用户友好软件界面提供用户这种灵活性导致自定义的运算程序,以便他们可以最大限度利用与少量的 NX-3DM 工作成绩。 创建新的程序是简单的。 平均起来只需要 10 分钟创建新的程序和少于五修改一现有的一个。

行业主导的低噪声 Z 探测器

公园系统’ AFMs 带有在域的高效的低噪声 Z 探测器,与 0.2 Å 噪声在大带宽的。 这不创建极为准确的范例地势、需要对定标和边缘调整量。 一许多方式公园 NX-3DM 节省时间并且提供更好的数据。

低噪声 Z 探测器评定的准确范例地势

由 AFM 扫描程序的没有人工制品在低噪声闭环地势方面

  • 需要定标,只一次进行在这个工厂
  • 为地势使用低噪声 Z 探测器信号
  • 没有边缘调整量在主导和机体后缘
  • 有 0.02 毫微米低 Z 探测器噪声在大带宽的

行业的最低噪声的楼层

要检测最小的范例功能和图象平面,公园设计 < 0.5 Å 的行业的最低噪声的楼层说明。 噪声楼层数据被设立使用 “零的扫描”。 系统噪声评定与悬臂与在一单点的范例表面联系在下列条件下:

  • 0.5 收益在联系模式下
  • 0 毫微米 x 0 毫微米扫描,坚持
  • 256 x 256 象素

测量仪反复性和增殖率

由于要素的逐渐减少的范围,制造商现在要求质量管理的最高标准。 公园 AFM 可能提供少于 1 个 Å 1 个测量仪斯格码。

工具对工具相关性

由于为行业计量学设计的公园的创新 AFM 平台,为检验、制造、分析或者研究以前使用了的公园 NX-3DM 将关联与所有当前公园 AFMs。

选项

3D 计量学的一个革命全在一起的系统

自动技巧替换 (ATX)

ATX 由模式识别自动地找出技巧并且使用一个新颖的磁性方法脱离一个使用的技巧和拾起一个新的技巧,与一个令人惊讶的 99.9% 成功率。 激光地点沿 X- 和 Y轴自动地然后被优选由动力化的确定的瘤。

自动薄酥饼处理程序 (EFEM 或 FOUP)

NX-3DM 可以为自动薄酥饼处理程序的范围配置,例如 FOUP 和 EFEM。 高精密度,机器人处理的胳膊保证用户每次获得迅速和可靠的薄酥饼评定。

更加稳定的扫描的电离系统

迅速地停放系统’创新电离系统和有效消灭静电电荷在范例的环境里。 因为系统总是导致并且维护正和负离子适当的平衡,在范例处理期间,它可能开发与微不足道的污秽的一个非常稳定地被充电的环境从这个周边地区和减少偶然静电电荷的风险。

说明

公园 NX-3DM 说明

系统规范
动力化的 X - Y 的阶段 200 mm : 至 275 mm 的旅行 × 200 mm, 0.5 µm 解决方法
300 mm : 至 400 mm 的旅行 × 300 mm, 0.5 µm 解决方法, < 1 µm 反复性
动力化的重点阶段 9 mm Z 在轴光学的行程距离
动力化的角度范围 -19 度和 +19 度
-38 度和 +38 度
< 0.5 度角度反复性
动力化的 Z 阶段 27 mm Z 行程距离
0.08 µm 解决方法
< 1 µm 反复性
Z 扫描程序 Z 扫描程序范围: 15 µm (大模式) 2 µm (小的模式)
Z 扫描程序解决方法: 0.016 毫微米 (大模式) 0.002 毫微米 (小的模式)
Z 扫描程序噪声楼层: < 0.05 毫微米
Z 扫描程序探测器噪声: 0.02 毫微米 @ 1 kHz
COGNEX 模式识别 模式对齐 1/4 象素的解决方法
扫描程序性能
X - Y 的扫描程序 有闭环控制的单一模块弯曲 X - Y 的扫描程序
100 µm × 100 µm (大模式)
50 µm × 50 µm (媒体模式)
10 µm × 10 µm (小的模式)
X - Y 的扫描程序解决方法 0.28 毫微米 (大模式)
0.03 毫微米 (小的模式)
设备需求
室温 (请待命) 10 °C ~ 40 °C
室温 (运行) 18 °C ~ 24 °C
湿气 30% 到 60% (不凝聚)
楼层振动级别 VC-E (3 个 µm/sec)
音响噪声 在 65 dB 以下
灵魂 真空: -80 kPa
CDA (或 N)2 : 0.7 MPa
供电评级 208V - 240 个 V,单相, 15 A (最大)
总电力消费 2 KW (典型)
地面阻力 在 100 欧姆以下
维数 & 重量
200 mm 系统 1500 mm (w) × 980 mm (d) x 2050 mm (h)
没有 EFEM,大约 1020 kg (incl。 控制台)

2465 mm (w) × 1000 mm (d) x 2050 mm (h)
使用 EFEM,大约 1230 kg (incl。 控制台)
上限高度 2500 mm 或更多
运算符工作空间 3300 mm (w) x 2300 mm (d),最小数量
300 mm 系统 1840 mm (w) × 1170 mm (d) x 2050 mm (h)
没有 EFEM,大约 1320 kg (incl。 控制台)

3260 mm (w) × 1350 mm (d) x 2050 mm (h)
使用 EFEM,大约 2120 kg (incl。 控制台)
上限高度 2500 mm 或更多
运算符工作空间 4540 mm (w) x 2850 mm (d),最小数量

公园 NX-3DM 300mm 安装格式

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