公园系统改革了与 XE-3DM 的简介的 AFM、为突出物和沟槽配置文件设计的充分地自动化的 AFM 系统，侧壁坎坷和想象和临界角评定。 XE-3DM 的唯一设计，使成为可能由 XE 串联的被分离的 X - Y 和 Z 扫描系统，允许咬边功能以及顶面的描述特性。 在使用公园系统的请配齐没有接触的模式， XE-3DM 能认识到软的光致抗蚀剂结构非破坏性的想象以扫描速度和其他 XE 串联平台一样。
对咬边和侧壁的高分辨率存取
- 二独立，闭环 X - Y 和 Z 弯曲扫描程序范例和技巧的
- 掀动 Z 扫描程序斜向一边从 -40 到 +40 度
- 对正常高长宽比的使用为高分辨率想象打翻
- 100 µm x 100 µm X - Y 的扫描
- 25 um Z 由高强制扫描程序的扫描范围
由真的没有接触的模式的非破坏性的 CD 和侧壁评定
- 10 次更大的 Z 扫描带宽比 piezotube
- 长时期的优质和高分辨率想象的较少技巧穿戴
- 减到最小的范例故障或修改
- 软的光致抗蚀剂结构可以是印象非破坏性
- 从在开发的想象观察的参数从属的结果的免疫
完成 3D 侧壁计量学
- 侧壁坎坷评定
- 侧壁的临界角评定
- 垂直的侧壁的重要维数评定
高处理量轴向自动化
- 允许的样本大小： 200/300mm 薄酥饼
- 自动对沟槽、突出物和咬边功能的数据收集和分析
- 自动技巧替换 (选项)
- 设备薄酥饼处理的 (EFEM)期初模块 (选项)
- 清洁的房间兼容性和遥控界面