公园系统 XE-3DM 基本强制显微镜

公园系统改革了与 XE-3DM 的简介的 AFM、为突出物和沟槽配置文件设计的充分地自动化的 AFM 系统,侧壁坎坷和想象和临界角评定。 XE-3DM 的唯一设计,使成为可能由 XE 串联的被分离的 X - Y 和 Z 扫描系统,允许咬边功能以及顶面的描述特性。 在使用公园系统的请配齐没有接触的模式, XE-3DM 能认识到软的光致抗蚀剂结构非破坏性的想象以扫描速度和其他 XE 串联平台一样。

对咬边和侧壁的高分辨率存取

  • 二独立,闭环 X - Y 和 Z 弯曲扫描程序范例和技巧的
  • 掀动 Z 扫描程序斜向一边从 -40 到 +40 度
  • 对正常高长宽比的使用为高分辨率想象打翻
  • 100 µm x 100 µm X - Y 的扫描
  • 25 um Z 由高强制扫描程序的扫描范围

由真的没有接触的模式的非破坏性的 CD 和侧壁评定

  • 10 次更大的 Z 扫描带宽比 piezotube
  • 长时期的优质和高分辨率想象的较少技巧穿戴
  • 减到最小的范例故障或修改
  • 软的光致抗蚀剂结构可以是印象非破坏性
  • 从在开发的想象观察的参数从属的结果的免疫

完成 3D 侧壁计量学

  • 侧壁坎坷评定
  • 侧壁的临界角评定
  • 垂直的侧壁的重要维数评定

高处理量轴向自动化

  • 允许的样本大小: 200/300mm 薄酥饼
  • 自动对沟槽、突出物和咬边功能的数据收集和分析
  • 自动技巧替换 (选项)
  • 设备薄酥饼处理的 (EFEM)期初模块 (选项)
  • 清洁的房间兼容性和遥控界面

Last Update: 15. July 2013 04:37

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