Mit der Ankunft des XE-150, ist großes FLUGHANDBUCH das Beispiel der Park-Anlagen, Berührungsfreie FLUGHANDBUCH-Darstellung die durchführbarste und praktischste Methode geworden, Ihre großen Proben mit entscheidender FLUGHANDBUCHauflösung und -zuverlässigkeit zu scannen. Die Motorisierte Beispielx-ystufe wird für kleine und große Beispielplatzierung, 150 mm x 150 mm optimiert und vollen Arbeitsweg über der gesamten Probe erlaubt. Auch das Schritt-und-Scan automatisierte Beispielmaß setzt groß die benötigte Anwesenheit des Benutzers während des Netzbetriebs herab
Artefakt Freie Darstellung durch Übersprechen-Beseitigung
- Unabhängiger Zwei, Regel-X-Y- und Z-Biegungsscanner für Probe und Spitze
- Flacher und linearer X-Yscan von µm 100 µm x 100 mit niedrig Restbogen
- Aus flachem Antrag von heraus weniger als 2 nm über gesamtem Arbeitsbereich
- Bis 25 µm Z-Scan durch hohen Kraftscanner
- Genaue Höhenmessungen
Entscheidende FLUGHANDBUCH-Auflösung durch Wahren Berührungsfreien Modus
- 10mal größere Z-Scan Bandweite als ein piezotube
- Weniger Spitzenabnützung für verlängerte hochwertige und hochauflösende Darstellung
- Herabgesetzter Beispielschaden oder -modifikation
- Immunität von den Parameter-abhängigen Ergebnissen beobachtet in klopfender Darstellung
Benutzer Bequemlichkeit durch EZ-Auslegung
- Öffnen Sie Seitenzugriff für einfachen Beispiel- oder Spitzenaustausch
- Schwalbenschwanz-Verriegelung Befestigung für einfachen Hauptausbau
- Direkte Aufschwerpunkt Optik für optische Betrachtung der hohen Auflösung
- Motorisierte Optikstufe
Hoch entwickelte Options-Kompatibilität mit Modularer Plattform
- Volle SPM-Modi und -optionen
- Öffnen Sie Seitenzugriff für optische Kupplung
- Automatisierte Beispielmaße mit motorisierter Beispielstufe
- Volles Arbeitswegumspannung 150 mm-Wafer (Keine Beispielrotation benötigt)