Con l'arrivo del XE-150, campione AFM dei Sistemi della Sosta il grande, la rappresentazione Senza contatto del AFM si è trasformato nel più fattibile e nel senso pratico scandire i vostri grandi campioni con ultima risoluzione e l'affidabilità del AFM. La fase motorizzata DI X-Y del campione è ottimizzata per sia il piccolo che grande collocamento del campione, 150 millimetri x 150 millimetri e concede in pieno scruta l'intero campione. Inoltre, la misura del campione automatizzata Punto-e-Scansione notevolmente minimizza la presenza richiesta dell'utente durante l'operazione di sistema
Rappresentazione Libera del Artefatto dall'Eliminazione di Interferenza
- Indipendente Due, scanner a circuito chiuso di Z e DI X-Y di flessione per il campione ed il suggerimento
- Una scansione DI X-Y Piana e lineare 100 del µm del µm x 100 con la prua in basso residua
- Da moto piano di meno di 2 nanometro sopra l'intera scansione variano
- Una Z-Scansione di Fino a 25 µm dall'alto scanner della forza
- Misure Accurate di altezza
Ultima Risoluzione del AFM dal Vero Modo Senza contatto
- più grande di 10 volte larghezza di banda di Z-Scansione che un piezotube
- Meno usura del suggerimento per rappresentazione di alta qualità ed ad alta definizione prolungata
- Danno o modifica Minimizzato del campione
- Immunità dai risultati parametro-dipendenti osservati nella rappresentazione di spillatura
Convenienza dell'Utente da Progettazione di EZ
- Apra l'accesso laterale per lo scambio facile del suggerimento o del campione
- supporto del Coda di rondine-Blocco per rimozione capa facile
- Ottica Diretta di su asse per la visualizzazione ottica di alta risoluzione
- Fase Motorizzata di ottica
Compatibilità Avanzata di Opzione con la Piattaforma Modulare
- Modi Completi ed opzioni di SPM
- Apra l'accesso laterale per l'accoppiamento ottico
- Misure Automatizzate del campione con la fase motorizzata del campione
- Comprendere Completo di viaggio un wafer da 150 millimetri (Nessuna rotazione del campione richiesta)