XE-150 の到着によって、公園システムの大きいサンプル AFM は、無接触 AFM イメージ投射最終的な AFM の解像度および信頼性によって大きいサンプルをスキャンする最も実行可能な、実用的な方法になりました。 X-Y モーターを備えられたサンプル段階は小さく、大きいサンプル配置、 150 の mm X のために 150 の mm 最適化され、全体のサンプル上の完全な旅行を可能にします。 また、ステップおよびスキャンによって自動化されるサンプル測定はシステム操作の間にユーザーの必要とされた存在を非常に最小化します
混線除去による人工物の自由なイメージ投射
- サンプルおよび先端のための 2 独立、クローズド・ループ X-Y および Z のたわみのスキャンナー
- 低く残りの弓が付いている 100 µm X の 100 µm の平らな、線形 X-Y スキャン
- 平らな動きからの全体のスキャンに 2 つ以下 nm 及びます
- 高い力のスキャンナーによる 25 までの µm Z スキャン
- 正確な高さの測定
本当の無接触モードによる最終的な AFM の解像度
- 10 piezotube より倍大きい Z スキャン帯域幅
- 延長された良質および高解像イメージ投射のためのより少ない先端の摩耗
- 最小化されたサンプル損傷か修正
- 叩くイメージ投射で観察されるパラメータ依存した結果からの免除
EZ デザインによるユーザーの便利
- 容易なサンプルまたは先端交換のための側面アクセスを開いて下さい
- 容易なヘッド取り外しのためのありロックの台紙
- 高リゾリューションの光学観覧のための直接オン軸線の光学
- モーターを備えられた光学段階
モジュラープラットホームとの高度オプションコンパティビリティ
- 完全な SPM モードおよびオプション
- 光学カップリングのための側面アクセスを開いて下さい
- モーターを備えられたサンプル段階との自動化されたサンプル測定
- 150 の mm のウエファー (必要なサンプル回転無し) 上の完全な旅行範囲