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공원 시스템 XE-150 자동화된 견본 단계를 가진 십자가 기능적인 원자 군대 현미경

XE-150의 도착으로, 공원 시스템의 큰 견본 AFM는, 몸의 접촉이 없는 AFM 화상 진찰 궁극적인 AFM 해결책 및 신뢰도로 큰 견본을 검사하는 가장 가능한 및 실제 쪽이 되었습니다. XY 자동화된 견본 단계는 작기도 하고 큰 견본 배치, 150 mm x를 위해 150 mm 낙관되고, 전체 견본에 가득 차있는 여행을 허용합니다. 더구나, 단계 및 검사에 의하여 자동화된 견본 측정은 시스템 운영 도중 매우 사용자의 요구한 존재를 극소화합니다

누화 제거에 의하여 인공물 자유로운 화상 진찰

  • 견본과 끝을 위한 2 무소속자, 닫힌 루프 XY와 Z 굴곡 스캐너
  • 낮게 잔여 활을 가진 100 µm x 100 µm의 편평한 선형 XY 검사
  • 편평한 움직임에서의 전체 검사에 2개 미만은 nm 구역 수색합니다
  • 높은 군대 스캐너에 의하여 25까지 µm Z 검사
  • 정확한 고도 측정

확실한 비접촉형에 의하여 궁극적인 AFM 해결책

  • 10 piezotube 보다는 시간 더 큰 Z 검사 대역폭
  • 머리말을 붙인 고품질과 고해상도 화상 진찰을 위한 더 적은 끝 착용
  • 극소화된 견본 손상 또는 수정
  • 두드리는 화상 진찰에서 관찰되는 매개변수 의존하는 결과에서 면제

EZ 디자인에 의하여 사용자 편익

  • 쉬운 견본 또는 끝 교환을 위한 옆 접근을 여십시오
  • 쉬운 맨 위 제거를 위한 열장장부촉 자물쇠 마운트
  • 고해상 광학적인 보기를 위한 직접 에 축선 광학
  • 자동화된 광학 단계

모듈 플래트홈을 가진 향상된 선택권 겸용성

  • 가득 차있는 SPM 최빈값 및 선택권
  • 광학적인 연결을 위한 옆 접근을 여십시오
  • 자동화된 견본 단계를 가진 자동화된 견본 측정
  • 150 mm 웨이퍼 (요구되는 견본 교체 없음) 이상 가득 차있는 여행 범위

Last Update: 15. July 2013 04:45

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