Met de aankomst van xe-150, de grote steekproef AFM van de Systemen van het Park, is de weergave van het niet-Contact AFM de uitvoerbaarste en praktische manier geworden om uw grote steekproeven met uiteindelijke Afm- resolutie en betrouwbaarheid af te tasten. Het X-Y gemotoriseerde steekproefstadium wordt geoptimaliseerd voor zowel kleine als grote steekproefplaatsing, 150 mm x 150 mm, en toestaat volledige reis over de volledige steekproef. Ook, minimaliseert de stap-en-Aftasten geautomatiseerde steekproefmeting zeer de vereiste aanwezigheid van de gebruiker tijdens systeemverrichting
De Vrije Weergave van het Artefact door de Verwijdering van de Overspraak
- X-Y onafhankelijke Twee, closed-loop en de buigingsscanners van Z voor steekproef en uiteinde
- Vlak en lineair X-Y aftasten van 100 µm x 100 µm met lage overblijvende boog
- Uit vliegtuigmotie van minder dan 2 NM over volledige aftastenwaaier
- Z-Aftasten Tot 25 µm door hoge krachtscanner
- Nauwkeurige hoogtemetingen
Uiteindelijke Afm- Resolutie door de Ware Wijze van het niet-Contact
- 10 keer grotere z-Aftasten bandbreedte dan een piezotube
- Minder uiteindeslijtage voor verlengde hoogstaande en high-resolution weergave
- Geminimaliseerde steekproefschade of wijziging
- Immuniteit van parameter-afhankelijke resultaten die in het onttrekken van weergave worden waargenomen
Het Gemak van de Gebruiker door EZ Ontwerp
- Open zijtoegang voor gemakkelijke steekproef of uiteindeuitwisseling
- Het zwaluwstaart-Slot zet voor gemakkelijke hoofdverwijdering op
- Directe op-asoptica voor hoge resolutie het optische bekijken
- Gemotoriseerd opticastadium
De Geavanceerde Verenigbaarheid van de Optie met Modulair Platform
- Volledige wijzen SPM en opties
- Open zijtoegang voor optische koppeling
- Geautomatiseerde steekproefmetingen met gemotoriseerd steekproefstadium
- Volledige reiswaaier meer dan 150 mmwafeltje (Geen vereiste steekproefomwenteling)