随着XE - 150的到来，公园系统的大样本的原子力显微镜，非接触式原子力显微镜成像已成为最可行和最实际的方式进行扫描，最终的原子力显微镜的分辨率和可靠性您大样本。优化XY电动样品台小型和大型的样品放置x 150毫米，150毫米，并允许在整个样本的整个行程。此外，步骤和扫描自动样品测量，大幅降低用户在系统运行过程中的要求存在
串音消除神器免费成像
- 两个独立的闭环XY和Z曲样品和针尖扫描仪
- 平面和直线XY扫描100微米× 100微米，低残留弓
- 出平面小于2纳米在整个扫描范围内的议案
- 25微米高力扫描器Z -扫描
- 准确的高度测量
真正的非接触式模式的终极原子力显微镜的分辨率
- 10次较大的Z -扫描带宽比piezotube
- 长时间的高品质和高清晰度成像的针尖的磨损少
- 最小样品的损坏或修改
- 从参数依赖攻成像观察到的结果的豁免权
简易设计方便用户
- 开放的一面，便于样品或提示交换访问
- 燕尾锁装载容易头去除
- 直接轴光学高分辨率光学观景
- 电动光学阶段
高级选项兼容性，模块化平台
- 完整的SPM模式和选项
- 光耦合的开放端访问
- 电动样品台，自动样品测量
- 超过150毫米晶圆的全行程范围（无需样本轮换）