Keysight 5600LS 原子力の顕微鏡 (AFM)

サンプルの大きさに関係なく、 Keysight 5600LS の大き段階 AFM は高解像の結果を提供して準備ができています。 Keysight の技術からのこの多目的な器械は大きいサンプル (空気で) および 9µm x 9µm AFM または STM のスキャンナーが付いている小さいサンプル両方の (空気で、または温度調整の下の液体) のイメージ投射を可能にする世界の唯一の商用化された AFM です。

5600LS は十分にアドレス指定可能な 200mm x 200mm の段階および新しい、低雑音デザインを利用します。 そのプログラム可能な、モーターを備えられた段階はイメージ投射のために置き、大きく、小さい標本をマップする速く、正確なプローブを可能にします。 調査官は自動的に正確に関心領域を座標が、それ以上の調査のためにサンプルのすぐにそして正確に位置を変えるために、保存されて見つけ、識別できます。 直径の 8" および高い 30mm までのサンプルは真空のチャックによって容易に受け入れられます。 段階は位置を変えることを用いる 300mm のウエファーを取り扱います。

5600LS は原子解像度のための Keysight のオープン・ループおよびクローズド・ループスキャンナー、また Keysight STM のスキャンナーをサポートします。 提供することは多様な一組のアプリケーションのためのスキャンを、オープン・ループ最適化し、クローズド・ループ多目的スキャンナーは 2 つのスキャン範囲で使用できます。 液体の小さいサンプルのイメージ投射を促進するサンプル版との特別な段階のアダプターの割り当ての使用。 さらに、 Keysight のスキャンのマイクロウェーブ顕微鏡検査の (SMM)モードは機密性が高い目盛りを付けられたキャパシタンス及び添加物の密度の測定を可能にする市場の唯一のモードです。

主要特点:

  • 十分にアドレス指定可能で、プログラム可能な 200mm x 200mm の段階
  • AFM または STM のスキャンナーを使用して小さいサンプル領域の原子解像度イメージ投射
  • 光学眺めに基づいて簡単なポイントおよびシュート AFM イメージ投射を許可します
  • 低雑音 AFM デザインは単一の原子ステップを保証します
  • モーターを備えられた光学焦点は優秀な使い易さを提供します
  • マップする正確な位置は (0.5µm の精密) 再現性を保障します

性能ケイパビリティ:

  • ナノテクノロジーアプリケーションは半導体、物質科学および生命科学を含んでいます
  • すべてのイメージ投射モードをサポートします
  • 機密性が高い目盛りを付けられた電気および空間的な性格描写のための SMM オプション
  • 特許を取られた MAC のモードオプションは並ぶものがない内部流動およびソフトサンプルイメージ投射を可能にします
  • MAC のモード III オプションは 3 つのロックインのアンプ、高調波の使用を提供します
  • 暖房オプションは高精度の温度調整を提供します

Last Update: 15. December 2014 13:29

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