不管樣本大小, Agilent 5600LS 大階段 AFM 準備實現高分辨率結果。 從 Agilent 技術的此多才多藝的儀器是允許大範例的世界的唯一的商業可用的 AFM (在航空) 和小的範例想像 (在航空,或者在溫度控制下的液體) 與 9µm x 9µm AFM 或 STM 掃描程序。
這个 5600LS 使用一個充分地可尋址的 200mm x 200mm 階段和一個新,低噪聲設計。 其可編程序,動力化的階段啟用確定為想像和映射大和小的標本的快速,準確探測。 調查員能精密地找出和識別,并且,当坐標存儲的興趣範圍,為進一步研究迅速和準確地自動地改變位置這個範例。 至 8" 直徑和 30mm 的範例高由真空牛頸肉容易地接受。 這個階段適應與改變位置的一個 300mm 薄酥餅。
這个 5600LS 支持 Agilent 開放環路和閉環掃描程序以及 Agilent STM 掃描程序基本解決方法的。 要提供優選了不同的套的掃描應用,開放環路,并且閉環多用途掃描程序是可用的在二個掃描範圍。 與實現小的範例想像在液體的範例牌照的特殊階段適配器許可證使用。 另外, Agilent 的掃描微波顯微學 (SMM)模式是唯一的模式在允許高靈敏的被校準的電容 & 摻雜物密度評定的市場上。
關鍵功能:
- 充分地可尋址和可編程序的 200mm x 200mm 階段
- 一小的範例區的基本解決方法想像使用 AFM 或 STM 掃描程序的
- 允許在光學視圖基礎上的簡單的點和射擊 AFM 想像
- 低噪聲 AFM 設計保證唯一基本步驟
- 動力化的光學重點提供非常好的易用
- 映射準確的地點 (0.5µm 精確度) 保證增殖率
性能:
- 納米技術應用包括半導體、材料學和生命科學
- 支持所有想像模式
- 高靈敏的被校準的電子和空間的描述特性的 SMM 選項
- 給予專利的 MAC 模式選項啟用空前的流動和軟範例想像
- MAC 模式 III 選項提供三個封鎖行動放大器,對高次諧波的使用
- 熱化選項提供高精密度的溫度控制