P-915KLVS høj dynamik, vakuum-kompatibel, høj belastning nanopositioner XYZ piezo-scanneren giver en meget stor klar blænde på 200 x 200 mm.
Funktioner og Fordele
- Vakuum Kompatibel til 10-6 hPa
- Direkte Metrologi med Kapacitive sensorer
- Fremragende Rethed: <0,1 μrad kast
- Friktionsløs, High-Precision flexure Guiding System
- Direkte Metrologi med Kapacitive sensorer