P-915KLVS hoher Dynamik bietet Vakuum-kompatibel, high-load Nanopositionierer XYZ Piezo-Scanner eine sehr große Apertur von 200 x 200 mm.
Features & Vorteile
- Vacuum Kompatibel bis 10-6 hPa
- Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
- Hervorragende Geradheit: <0,1 mrad Rundlauf
- Frictionless, High-Precision-Führungssystem
- Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren