P-915KLVS υψηλής δυναμικής, κενό συμβατή, υψηλού φορτίου nanopositioner XYZ piezo σαρωτή προσφέρει ένα πολύ μεγάλο σαφές άνοιγμα του 200 x 200 mm.
Χαρακτηριστικά & Πλεονεκτήματα
- Κενού Συμβατό με 10-6 hPa
- Άμεση Μετρολογίας με αισθητήρες πυκνωτή
- Εξαιρετική Ευθύτητα: <0,1 μrad διαφυγή
- Χωρίς τριβή, υψηλής ακρίβειας κάμψη Κατευθυντήριες Σύστημα
- Άμεση Μετρολογίας με αισθητήρες πυκνωτή