La haut-dynamique de P-915KLVS, nettoient à l'aspirateur compatible, balayeur piézo-électrique du nanopositioner XYZ de haut-charge offre une ouverture dégagée très grande de 200 x 200 millimètres.
Caractéristiques techniques et Avantages
- Aspirateur Compatible au hPa 10-6
- Métrologie Directe avec les Senseurs Capacitifs
- Excellente Rectitude : <0>
- Système de Guidage de Flexure Sans Friction et À Haute Précision
- Métrologie Directe avec les Senseurs Capacitifs