P-915KLVS de alta dinâmica, compatível vácuo, alta carga nanopositioner XYZ piezo scanner oferece uma abertura muito grande e clara de 200 x 200 mm.
Características e vantagens
- Compatível com vácuo 06/10 hPa
- Metrologia direto com sensores capacitivos
- Linearidade excelente: <0,1 ìrad Runout
- Sem atrito, de Alta Precisão Flexure Sistemas de Condução
- Metrologia direto com sensores capacitivos