Fases de Nanopositioning do Vácuo - P-915 do PI

A alto-dinâmica de P-915KLVS, limpa compatível, varredor piezo do nanopositioner XYZ da alto-carga oferece uma abertura clara muito grande de 200 x 200 milímetros.

Características & Vantagens

  • Vácuo Compatível ao hPa 10-6
  • Metrologia Directa com Sensores Capacitivos
  • Rectidão Excelente: Runout do µrad <0.1
  • Frictionless, Sistema de Guiamento do Flexure da Elevada precisão
  • Metrologia Directa com Sensores Capacitivos

Last Update: 13. September 2013 09:23

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